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公开(公告)号:WO2012124909A9
公开(公告)日:2012-09-20
申请号:PCT/KR2012/001452
申请日:2012-02-27
IPC: H01L21/268
Abstract: 본 발명은 잉크 경화 시스템 및 그 방법에 관한 것이다. 본 발명의 잉크 경화 시스템은, 기판 상에 기판의 두께 방향을 따라 다층으로 인쇄되는 다수의 레이어(Layer)를 경화시키기 위해 다수의 레이어를 향해 깊이 방향의 선택도(selectivity)를 갖는 서로 다른 파장 대역의 레이저를 발생시키는 적어도 하나의 레이저발생기; 및 레이저발생기의 동작을 컨트롤하는 컨트롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 인쇄층(layer)이 다층으로 형성되더라도 레이어별 경화 시간 및 경화 정도, 강도를 효율적으로 조절하면서 적용할 수 있기 때문에 인쇄 품질 불량이 초래되는 현상을 종래보다 현격하게 감소시킬 수 있으며, 무엇보다도 경화 시간을 단축시킬 수 있어 택트 타임(tact time) 감소에 따른 생산성 향상을 도모할 수 있다.