公开(公告)号：WO2010002194A2

公开(公告)日：2010-01-07

申请号：PCT/KR2009/003599

申请日：2009-07-01

Applicant: 주식회사 동진쎄미켐 ,  홍선영 ,  박홍식 ,  정종현 ,  이지선 ,  서남석 ,  김봉균 ,  최영주 ,  이병진 ,  김병욱 ,  정종현 ,  윤석일 ,  신성건 ,  허순범 ,  정세환 ,  장두영

Inventor： 홍선영 ,  박홍식 ,  정종현 ,  이지선 ,  서남석 ,  김봉균 ,  최영주 ,  이병진 ,  김병욱 ,  정종현 ,  윤석일 ,  신성건 ,  허순범 ,  정세환 ,  장두영

IPC: G03F7/42

CPC classification number: G03F7/425

Abstract: 본 발명은 1 내지 20중량%의 고리형 아민 화합물, 10 내지 90중량%의 글리콜 에테르 화합물, 그리고 잔량의 극성 용매를 포함하는 박리제 및 게이트 전극을 형성하는 단계, 상기 게이트 전극 위에 게이트 절연막을 형성하는 단계, 상기 게이트 절연막 위에 반도체를 형성하는 단계, 상기 반도체 위에 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계, 상기 소스 전극 및 드레인 전극 위에 색 필터를 형성하는 단계, 상기 색 필터 위에 절연막을 형성하는 단계, 그리고 상기 절연막 위에 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 절연막을 형성하는 단계 및 상기 화소 전극을 형성하는 단계 중 적어도 하나는 감광막을 도포하는 단계, 상기 감광막을 노광하여 복수의 감광 패턴을 형성하는 단계, 상기 감광 패턴을 사용하여 식각하는 단계, 그리고 상기 감광 패턴을 박리하는 단계를 포함하며, 상기 감광 패턴을 박리하는 단계는 1 내지 20중량%의 고리형 아민 화합물, 10 내지 90중량%의 글리콜 에테르 화합물, 그리고 잔량의 극성 용매를 포함하는 박리제를 사용하는 표시판의 제조 방법에 대한 것이다.

Abstract translation:

本发明包括一种形成剥离剂和包含重量的1至20％的环状胺化合物，10〜90重量％的乙二醇醚化合物的，的极性溶剂的栅极电极的步骤和剩余量，所述 在栅极上形成栅电极绝缘膜，形成于所述栅极绝缘膜，形成滤色器，其包括半导体：形成源极电极和在所述半导体漏电极，在源电极和漏电极，滤色器 在形成绝缘膜，并且形成在绝缘膜上，形成步骤中的至少一个，和像素电极的像素电极，以形成所述绝缘膜包括将光敏薄膜的步骤中，由光敏膜暴露 形成多个感光图案，蚀刻感光图案， 和剥离图案的步骤中，剥离光敏图案的步骤是使用释放剂，其包含重量的从1％至20％的环胺化合物的极性溶剂，乙二醇醚化合物的10〜90重量％，其余 在这种情况下，