公开(公告)号：WO0216280A3

公开(公告)日：2003-04-17

申请号：PCT/US0126477

申请日：2001-08-24

Applicant: KOMAG INC ,  HOMOLA ANDREW ,  HOWARD PHILLIP S ,  BAJOREK CHRISTOPHER H

Inventor： HOMOLA ANDREW ,  HOWARD PHILLIP S ,  BAJOREK CHRISTOPHER H

IPC: C03B23/02 ,  C03B25/02 ,  C03B32/00 ,  C03B40/033 ,  C03C17/00 ,  C03C17/23 ,  C03C23/00 ,  B05B1/18 ,  C03B29/02 ,  C03C15/00 ,  C03C17/25

CPC classification number: C03B32/00 ,  C03B23/02 ,  C03B25/025 ,  C03B40/033 ,  C03C17/007 ,  C03C17/23 ,  C03C23/007 ,  C03C2217/42 ,  C03C2218/355

Abstract: A method includes: a) applying a monolayer (11a to 11e) of metal oxide particles to a set of glass workpieces (10a to 10e); b) stacking the workpieces; and c) heating the workpieces. The heating can be part of a process for flattening the workpieces, and during heating a set of optically flat plates (2, 3) are pressed against the workpieces. The heating can also be part of a process for densifying and/or annealing the workpieces. The monolayer of metal oxide particles prevents the workpieces from bonding to one another. In one embodiment, the monolayer of metal oxide particles is applied to the workpiece by immersing the workpieces in an aqueous dispersion of the particles.

Abstract translation: 一种方法包括：a）将金属氧化物颗粒的单层（11a至11e）施加到一组玻璃工件（10a至10e）上; b）堆放工件; 和c）加热工件。 加热可以是用于使工件平坦化的过程的一部分，并且在加热期间，一组光学平板（2,3）被压靠在工件上。 加热也可以是用于致密化和/或退火工件的工艺的一部分。 金属氧化物颗粒的单层防止工件彼此粘合。 在一个实施方案中，将金属氧化物颗粒的单层通过将工件浸入颗粒的水分散体中而被施加到工件上。