公开(公告)号：WO2008043458A1

公开(公告)日：2008-04-17

申请号：PCT/EP2007/008553

申请日：2007-10-02

Applicant: CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH ,  DIETRICH, Peter ,  BOEKER, Christian ,  SCHRADER, Henning

Inventor： DIETRICH, Peter ,  BOEKER, Christian ,  SCHRADER, Henning

IPC: G02B21/08 ,  G02B21/24

CPC classification number: G02B21/241

Abstract: Um ein Verfahren und eine Anordnung zum Fokussieren von Objektiven, Objekten und Kondensoren bei unterschiedlichen Mikroskoparten zu schaffen, mit denen optimale Beleuchtungs- und Abbildungsbedingungen für die zu untersuchenden Objektebenen durch eine optimale Nachführung des Kondensors bei einer Bewegung eines Objektivs oder eines Objektes insbesondere für die Untersuchung dicker Proben erhalten werden, wird ein Verfahren vorgeschlagen, bei dem durch eine gekoppelte Fokussierbewegung eines Objektivs (2) und eines Kondensors (5) oder eines zu untersuchenden Objektes (1) und des Kondensors (5) stets auf eine Objektebene (3) innerhalb des zu untersuchenden Objektes (1) fokussiert wird, so dass Objektdetails in allen Objektebenen (3) des Objektes (1) beleuchtet und der Beleuchtungs- und Abbildungsstrahlengang aufeinander abgestimmt sind. Die gekoppelte Fokussierbewegung zum Fokussieren des Objektivs (2) und des Kondensors (5) oder des Objektes (1) und des Kondensors (5) wird entweder durch eine Entkopplung der Kondensorbewegung von der Objekttischbewegung oder durch eine Entkopplung der Kondensorbewegung von der Objektivbewegung unter Berücksichtigung von Brechungsindices, Probendicke und Fokustiefe innerhalb des Objektes (1) erhalten.

Abstract translation: 为了提供一种方法和用于聚焦透镜，目的和冷凝器具有不同显微镜类型的布置中，与最佳照明和成像条件，以通过所述冷凝器的最佳跟踪透镜或物体的运动过程中被检查对象平面，特别是用于调查 获得更厚的样品，提出了一种方法，其中通过一个物镜（2）的耦接聚焦和冷凝器（5）或至测量对象（1）和所述冷凝器（5）总是在内的物平面（3） 待检查（1）被聚焦，使得在细节照亮的对象的所有对象平面（3）所述对象（1）和照明和成像光束路径的被协调对象。 耦合聚焦装置用于聚焦透镜（2）和所述冷凝器（5）或所述对象（1）和所述冷凝器（5），无论是通过去耦台移动的Kondensorbewegung或通过分离的透镜移动的Kondensorbewegung，同时考虑到 得到的折射率，样品厚度和焦深的对象（1）内。