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公开(公告)号：WO2022240051A1
公开(公告)日：2022-11-17
申请号：PCT/KR2022/006307
申请日：2022-05-03
Applicant: (주)데포랩
IPC: C23C14/24 , C23C14/12 , C23C14/56 , C23C14/243 , C23C14/564
Abstract: 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 증발원은, 유기물질이 충진된 내부공간을 가지며, 상면에 상하 방향으로 분출구가 관통 형성되고, 가열에 의해 상기 유기물질이 증발되어 형성된 증착입자가 상기 분출구를 통해 분출되는 도가니부; 그리고 기판의 하부에 배치되며, 상기 내부공간과 연통되어 상기 내부공간의 증착입자가 분출되는 분출공간을 가지고, 상기 기판을 향해 상기 증착입자가 분사되도록 상면에 상하방향으로 분사구가 관통 형성된 커버부:를 포함하되, 상기 커버부는, 외부와 연통되어 상기 증착입자가 배기 가능한 통로를 가진다.
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