公开(公告)号：WO2007083608A1

公开(公告)日：2007-07-26

申请号：PCT/JP2007/050460

申请日：2007-01-16

Applicant: 独立行政法人科学技術振興機構 ,  畑 朋延 ,  南部 信政 ,  中村 長泰 ,  笹沼 秀規 ,  影近 隆 ,  西尾 壽美

Inventor： 畑 朋延 ,  南部 信政 ,  中村 長泰 ,  笹沼 秀規 ,  影近 隆 ,  西尾 壽美

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/08 ,  C23C14/56

CPC classification number: C23C14/568 ,  C23C14/08 ,  C23C14/34

Abstract: インラインスパッタ装置において、真空槽（２）を支持する真空槽支持脚（４５）とは別に、真空槽（２）の内部に設けられた送り出し搬送機構（２５）を搬送系支持脚（４６）によって支持する。搬送系支持脚（４６）は真空槽（２）の底部を貫通して床面（１５）に達する。搬送系支持脚（４６）が貫通する貫通穴は、可撓性を有するパイプ状の気密材（５５）によって覆われる。真空槽（２）は、内圧の変化によって変形しても帯状シート（１６）を搬送したときに擦り傷が入ることが防止される。

Abstract translation: 在直线式溅射装置中，除了支撑真空室（2）的真空室支撑腿（45）之外，布置在真空室（2）内部的供给传送机构（25）由传送系统支撑腿 （46）。 传送系统支撑腿（46）通过穿透真空室（2）的底部而到达地板表面（15）。 传送系统支撑腿（46）穿透的通孔被柔性管状气密材料（55）覆盖。 即使当由于内部压力变化而使真空室发生变形时，即使传送带状片材（16）也能够防止真空室（2）被刮伤。