公开(公告)号：WO2005082550A1

公开(公告)日：2005-09-09

申请号：PCT/JP2005/003184

申请日：2005-02-25

Applicant: オリジン電気株式会社 ,  小澤 直人 ,  鈴木 隆之 ,  齋藤 智之 ,  小林 秀雄 ,  稲谷 孝祐

Inventor： 小澤 直人 ,  鈴木 隆之 ,  齋藤 智之 ,  小林 秀雄 ,  稲谷 孝祐

IPC: B05D1/40

CPC classification number: G11B7/266 ,  B05D1/005 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67253

Abstract: 　このディスクの製造方法は、ディスク基板Ｄを回転させながら皮膜材料ｗを塗布し、それを乾燥させることにより皮膜Ｗをディスク基板Ｄ上に形成する工程と、前記回転中の前記皮膜Ｗの乾燥領域と未乾燥領域との境界の移動を検出する工程と、乾燥後の前記皮膜Ｗの膜厚分布を計測する工程と、前記検出された境界の移動と前記膜厚分布との関係に基づき、前記ディスク基板Ｄの回転数を制御する工程とを具備する。

Abstract translation: 盘制造方法具有在盘（D）上旋转并干燥涂料以在盘基片（D）上形成涂层（W）的步骤;检测 干燥区域和干燥后的涂层（W）的干燥区域和尚未干燥的区域之间的边界，测定涂布（W）干燥后的涂布厚度分布的步骤，以及控制旋转次数的步骤 基于所检测的边界的移动与涂层厚度分布之间的关系来确定盘基片（D）。

公开(公告)号：WO2008029615A1

公开(公告)日：2008-03-13

申请号：PCT/JP2007/066229

申请日：2007-08-22

Applicant: オリジン電気株式会社 ,  小澤 直人 ,  鈴木 隆之

Inventor： 小澤 直人 ,  鈴木 隆之

IPC: G11B7/26

CPC classification number: G11B7/266 ,  B05D1/005 ,  B05D3/067

Abstract: [課題] 膜厚が均一で平滑性に優れた樹脂膜 形成し、反りが生じない平坦性に優れた基板を得ること。 また、樹脂膜への光の照射と非照射との境界での樹脂膜の硬化と非硬化とを明確にすること。 [解決手段] 基板上に供給された液状物質を回転によって展延させる過程で又は展延した後に光の照射を前記基板の中央側から外周側に向かって移行させ、前記液状物質を硬化させる樹脂膜の形成方法において、前記光は環状であり、この環状光はそ の照射時間の経過に伴って内径及び外径が前記回転の中心軸線と同心状に大きくなることによって、前記基板上を内周側から外周側へ移行することを特徴 とする樹脂膜の形成方法。

Abstract translation: 为了形成具有均匀的厚度和优异的平滑度的树脂膜，提供不翘曲并且具有优异的平面性的基板，并且阐明光照射区域和光非照射区域之间的边界处的树脂膜是否为 硬化还是不硬化 解决问题的手段在通过旋转使施加在基板上的液体物质平坦化之后或之后，光照射从基板的中心向外周移动，液体物质硬化，形成树脂膜。 光线呈环状施加，随着照射时间的推移，环状光的内径和外径随着旋转中心轴线同时增大，环状光从基板的内周向外周移动 。

公开(公告)号：WO2007077885A1

公开(公告)日：2007-07-12

申请号：PCT/JP2006/326103

申请日：2006-12-27

Applicant: オリジン電気株式会社 ,  小澤 直人 ,  中村 昌寛 ,  鈴木 隆之

Inventor： 小澤 直人 ,  中村 昌寛 ,  鈴木 隆之

IPC: G11B7/26

CPC classification number: G11B7/266 ,  B29C65/1406 ,  B29C65/1435 ,  B29C65/1454 ,  B29C65/1483 ,  B29C65/4845 ,  B29C65/521 ,  B29C65/524 ,  B29C65/78 ,  B29C66/1122 ,  B29C66/345 ,  B29C66/452 ,  B29C66/65 ,  B29C66/71 ,  B29C66/93441 ,  B29C66/93451 ,  B29C66/939 ,  B29C66/9392 ,  B29L2017/005 ,  Y10S425/81 ,  B29C65/00 ,  B29K2069/00

Abstract: 　ディスク基板に発生した反りを所望の反りに制御するために、光ディスクの製造方法は、前記ディスク基板に樹脂を供給する工程と、前記樹脂が供給されたディスク基板を回転台の内径部に載置し、前記ディスク基板の非載置部と前記回転台の外径部との間に空隙を設け、回転により前記樹脂を展延する工程と、前記回転台の内径部に載置されている前記ディスク基板を回転中に、前記樹脂を硬化させる硬化工程と、を備え、前記樹脂を展延する工程において、回転中の前記ディスク基板の非載置部に負圧を作用させ、前記硬化工程において、負圧を作用させた状態で、前記回転中のディスク基板の前記樹脂を硬化させて反り量を制御する。

Abstract translation: 为了控制在盘基板中产生的翘曲是希望的翘曲，光盘制造方法具有向盘基片供给树脂的步骤; 将提供有树脂的盘基板放置在旋转台的内径区域上，在盘基板未被放置的区域与旋转台的外径区域之间设置空间，并通过旋转使树脂平坦化的步骤 ; 以及固化步骤，当放置在旋转台的内径区域上的盘基片旋转时，使树脂固化。 在使树脂变平的步骤中，对旋转盘基片未放置的区域进行负压操作。 在固化步骤中，在负压操作的状态下，旋转盘基片的树脂固化并且翘曲量受到控制。

公开(公告)号：WO2006030494A1

公开(公告)日：2006-03-23

申请号：PCT/JP2004/013377

申请日：2004-09-14

Applicant: オリジン電気株式会社 ,  小林 秀雄 ,  鈴木 隆之 ,  小澤 直人

Inventor： 小林 秀雄 ,  鈴木 隆之 ,  小澤 直人

IPC: B05D1/40

CPC classification number: G11B7/266 ,  B05D1/002 ,  B05D5/10 ,  B05D7/22

Abstract: 　光ディスクなどの基板間の内周側に供給された接着剤等の液状物質、あるいは基板上の内周側に供給された液状物質を、高速回転によって展延させる工程と低速回転させる工程とを交互に複数回行い、低速回転時に内周側から外周側に向かって順次、連続的に又は間欠的に光線の照射を移行させて、内周側から順次、液状物質を半硬化又は硬化させる。これにより、内周側から外周側へ向けて段階的に、液状物質による樹脂膜の厚みを確定する。

Abstract translation: 通过高速旋转将在光盘等的基板之间的内周侧供给的液态物质或在板上的内周侧供给的材料等扩散的方法， 通过低速旋转的材料交替进行多次。 当材料以低速旋转时，光束照射从内周侧到外周侧连续地或连续地或间断地移动，并且液态材料从内周侧连续地半硬化或硬化 。 因此，从液态材料形成的树脂膜的厚度从内周侧到外周侧逐步确定。