薄膜光電変換モジュールの製造方法および製造装置
    1.
    发明申请
    薄膜光電変換モジュールの製造方法および製造装置 审中-公开
    制造薄膜光电转换模块的方法和装置

    公开(公告)号:WO2009020073A1

    公开(公告)日:2009-02-12

    申请号:PCT/JP2008/063889

    申请日:2008-08-01

    CPC classification number: H01L31/208 H01L31/046 Y02E10/50 Y02P70/521

    Abstract:  絶縁基板の表面上に第1電極層、光電変換層および第2電極層が順次積層されてなる薄膜光電変換素子が互いに電気的に直列接続されたストリングを、前記第1電極層と前記第2電極層を電気的に絶縁分離する直列接続方向に延びる分割溝によって複数に分割して、複数の分割ストリングを形成する工程(A)と、前記分割ストリングにおける各薄膜光電変換素子に逆バイアス電圧を印加して逆バイアス処理する工程(B)とを備えたことを特徴とする薄膜光電変換モジュールの製造方法。

    Abstract translation: 通过在绝缘基板的表面上依次层叠第一电极层,光电转换层和第二电极层,提供薄膜光电转换元件。 其中薄膜光电转换元件串联电连接的串通过分隔槽分成多个串,其将第一电极层和第二电极层彼此电绝缘并分离并且以串联方式延伸 连接方向。 制造薄膜光电转换模块的方法具有形成分割线的步骤(A)和通过对分割的线的每个薄膜光电转换元件施加反向偏置电压来执行反向偏置的步骤(B)。

    プラズマ処理装置、プラズマ処理方法、および光電変換素子
    2.
    发明申请
    プラズマ処理装置、プラズマ処理方法、および光電変換素子 审中-公开
    等离子体处理装置,等离子体处理方法和光电转换元件

    公开(公告)号:WO2007148569A1

    公开(公告)日:2007-12-27

    申请号:PCT/JP2007/061855

    申请日:2007-06-13

    Abstract:  少なくとも2のプラズマ処理工程を同一のプラズマ反応室(101)内で行なう場合に、各工程においてプラズマ処理用の電力としてCW交流電力またはパルス変調された交流電力が適宜選択される。これにより、装置構成によりプラズマ処理の条件が制限される工程においてもより多様なプラズマ処理を行なうことができる。またパルス変調された交流電力を用いることにより、均一なプラズマを電極間に発生させ、かつ、電極間に投入される電力量を低減することが可能となる。これにより、プラズマ処理速度を低下させることができるので、その処理量の制御が容易となる。

    Abstract translation: 在相同的等离子体反应室(101)中执行至少两个等离子体处理步骤的情况下,根据需要选择CW交流功率或脉冲调制交流功率作为每个步骤中等离子体处理的功率。 因此,即使在等离子体处理条件由于设备构造而受到限制的步骤中,也可以进行更多样化的等离子体处理。 此外,可以在电极之间产生均匀的等离子体,并且可以通过使用脉冲调制的交流电源来减少在电极之间提供的功率。 由于可以降低等离子体处理速度,便于处理量控制。

    光電変換素子の逆バイアス処理装置および逆バイアス処理方法
    3.
    发明申请
    光電変換素子の逆バイアス処理装置および逆バイアス処理方法 审中-公开
    用于光电转换装置的逆向偏移处理装置和用于反向偏移处理的方法

    公开(公告)号:WO2008041454A1

    公开(公告)日:2008-04-10

    申请号:PCT/JP2007/067725

    申请日:2007-09-12

    Inventor: 中野 孝紀

    Abstract:  直列接続された複数の光電変換素子(103a~103f)を逆バイアス処理する際に、3つ以上の光電変換素子の電極(104a~104c)に異なった電位を付与し、2つ以上の光電変換素子(103a,103b)を同時に逆バイアス処理する。これにより、光電変換素子の逆バイアス処理時間を短縮することができる。

    Abstract translation: 当串联连接的多个光电转换装置(103a〜103f)进行反向偏置处理时,对三个以上的光电转换元件的电极(104a〜104c)和两个以上的光电转换元件(103a, 103b)同时进行反偏压处理。 因此,可以减少光电转换装置的反偏压处理时间。

    積層型光電変換装置及びその製造方法
    5.
    发明申请
    積層型光電変換装置及びその製造方法 审中-公开
    层压型光电转换器及其制造方法

    公开(公告)号:WO2008090666A1

    公开(公告)日:2008-07-31

    申请号:PCT/JP2007/072207

    申请日:2007-11-15

    Abstract:  光電変換層の間に中間層を設けて上記入射光量制御効果を得るとともに、中間層と半導体層の界面におけるキャリア再結合を低減し、光電変換効率を向上させた積層型光電変換装置及びその製造方法を提供する。  本発明の積層型光電変換装置は、pin構造を有する複数のシリコン系光電変換層を重ねて備え、隣接する少なくとも一対の前記光電変換層は、窒化シリコンからなる中間層を挟持し、前記一対の前記光電変換層は、互いに電気的に接続されており、前記光電変換層の一部であり前記中間層と接するp型シリコン系半導体層は窒素原子を含有する。

    Abstract translation: 通过在光电转换层之间设置中间层,同时减少中间层和半导体层之间的界面上的载流子复合并提高光电转换效率,来实现控制入射光量的效果的叠层型光电转换器, 及其制作方法。 层叠型光电转换器具有多个硅基光电转换层的叠层体,其具有引脚结构,其中至少一对相邻的光电转换层夹持由氮化硅构成的中间层,所述一对光电转换层与 并且作为光电转换层的一部分并与中间层接触的p型硅基半导体层包含氮原子。

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