微細構造体の加工方法および微細構造体の加工装置
    2.
    发明申请
    微細構造体の加工方法および微細構造体の加工装置 审中-公开
    微结构与加工系统的加工方法

    公开(公告)号:WO2006090682A1

    公开(公告)日:2006-08-31

    申请号:PCT/JP2006/303016

    申请日:2006-02-21

    摘要:  本発明の微細構造体の加工方法においては、対向定盤(211)を退避位置から成型加工位置に移動させて、フィルム(1)が型(5)に押し当てられ、加工される。その後、第2ブロック(211b)が、第1ブロック(211a)から離される。これにより、冷却時における対向定盤(211)の体積を減らして対向定盤(211)の総熱容量を減少させ、対向定盤(211)に蓄えられた熱量を物理的に排出することで、対向定盤(211)の冷却速度の向上を図ることを可能としている。これにより、対向定盤(211)の冷却効率の向上が図られ、対向定盤(211)のヒートサイクルの短縮化を図ることが可能となる。

    摘要翻译: 将相对面板(211)从后退位置移动到成形位置的微结构的加工方法和膜(1)被压靠在模具(5)上并进行加工。 随后,第二块(211b)与第一块(211a)分离。 因此,相对面板211的总热容量通过降低冷却时的对置面板211的体积而降低,能够提高对置面板211的冷却速度 通过物理地排出存储在相对表面板211中的热量。 由此,能够提高对置面板211的冷却效率,缩短热循环。