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公开(公告)号:WO2008013244A1
公开(公告)日:2008-01-31
申请号:PCT/JP2007/064713
申请日:2007-07-26
CPC classification number: C07C49/92 , C07C45/77 , C07F15/0046 , C23C16/18
Abstract: 本発明の一般式(1-1) (式中、Xは、一般式(1-2) で示される基(式中、R a 及びR b は、炭素原子数1~5の直鎖又は分枝状のアルキル基を示す。)、Yは、一般式(1-2)で示される基又は炭素原子数1~8の直鎖又は分枝状のアルキル基、Zは、水素原子又は炭素原子数1~4のアルキル基を示す。Lは、少なくともふたつの二重結合をもつ不飽和炭化水素化合物を示す。) で示される有機ルテニウム錯体、ビス(アセチルアセトナト)(1,5-ヘキサジエン)ルテニウム、およびビス(アセチルアセトナト)(1,3-ペンタジエン)ルテニウムは、低融点を有し、且つ水分、空気及び熱に対しての安定性に優れるとともに、CVD法による成膜に適している。
Abstract translation: 由通式(1-1),双(乙酰丙酮)(1,5-己二烯)钌和双(乙酰丙酮)(1,3-戊二烯)钌的钌络合物表现出低熔点,显示出优异的耐水分稳定性, 空气和热量,并且适合于通过CVD方法形成膜。 (1-1)其中X表示由通式(1-2)表示的基团; Y表示由通式(1-2)表示的基团或具有1〜8个碳原子的直链或支链烷基; Z表示氢原子或碳原子数1〜4的烷基。 L表示具有至少两个双键的不饱和烃化合物:(1-2)其中R a,R b和R b独立地表示直链或支链烷基,其具有1〜 5个碳原子。
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2.
公开(公告)号:WO2009011425A1
公开(公告)日:2009-01-22
申请号:PCT/JP2008/063035
申请日:2008-07-18
CPC classification number: C07F15/0093 , C07C49/92 , C23C16/18
Abstract: 本発明の有機白金錯体は、一般式(1)で示される新規白金錯体であり、低融点を有し、且つ水分、空気及び熱に対しての安定性に優れるとともに、CVD法による白金含有薄膜の製造に適している。 【化1】 (式中、X及びYは、それぞれ独立に、アルコキシ基で置換されていても良い炭素数1~8の直鎖又は分枝状のアルキル基を示し、Zは、水素原子、あるいは炭素数1~4の直鎖又は分枝状のアルキル基を示し、Lは、アルコキシアルケニル基(アルコキシ基で置換された直鎖又は分枝状のアルケニル基)を示す。)
Abstract translation: 公开了作为下述通式(1)表示的新型铂络合物的有机铂络合物。 该有机铂络合物具有低熔点,同时对水分,空气和热量具有优异的稳定性。 该有机铂络合物适用于通过CVD法制造含铂的薄膜。 (1)(式中,X和Y分别表示可以被烷氧基取代的碳原子数为1〜8的直链或支链烷基,Z表示氢原子或具有1- 4个碳原子; L表示烷氧基烯基(被烷氧基取代的直链或支链烯基))
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