公开(公告)号：WO2010082686A1

公开(公告)日：2010-07-22

申请号：PCT/JP2010/050743

申请日：2010-01-15

Applicant: 新日本製鐵株式会社 ,  石森裕一 ,  福地弘 ,  伊藤靖尚 ,  河合弘仁

Inventor： 石森裕一 ,  福地弘 ,  伊藤靖尚 ,  河合弘仁

IPC: G03F7/20 ,  B21D24/00 ,  B21D37/20 ,  B29C33/38

CPC classification number: B21D26/021 ,  B29C51/08 ,  B29C51/18 ,  B29C51/425 ,  B29C2791/006 ,  G03F1/60 ,  G03F7/24

Abstract: 本発明は、複雑な立体形状を有する金型であっても、密着性のよいフォトマスクが容易に作成でき、しかも繰り返し露光を可能とする再現性の高い位置決め精度を有する露光装置に関するものである。　熱間プレス成形用金型の表面に成膜したレジスト膜に、露光により所定のパターンを転写する真空圧空成形露光装置であって、レジスト膜が表面に成膜された成形用金型を気密に収容する気密容器と、前記成形用金型を載置する台座と、所定のパターンが形成されたシートを加熱して軟化する加熱機構と、軟化したシートを金型に被せた際にシート下面を台座に吸着させる吸引部と、前記吸引部に接続された吸引機構と、軟化したシートを前記成形用金型に吸着させた状態で当該シートにおける前記パターンをレジスト膜に露光する露光機構と、前記気密容器内を加圧する気体を供給する気体供給部と、を有していることを特徴とする。

Abstract translation: 公开了具有高度可再现的定位精度的曝光装置，并且其中即使对具有复杂实体形状的成形模具也具有高粘合力的光掩模可以容易地制造并且可以进行重复曝光。 其中通过曝光将预定图案转印到形成在热压成形模具的表面上的抗蚀剂膜上的真空和压力形成曝光装置由密封容器组成，其中在其表面上形成有抗蚀剂膜的成形模具 被放置的成形模具的放置基座，对形成有预定图案的片材进行加热软化的加热机构，吸入部，其将软化片材的下表面由于抽吸而保持在放置基座上 当软化的片材被施加到成形模具上时，连接到抽吸部分的抽吸机构，适于将片材上的图案曝光以将其转印到抗蚀剂膜上的曝光机构和气体供应部分， 提供用于对密闭容器加压的气体。