公开(公告)号：WO2007080867A1

公开(公告)日：2007-07-19

申请号：PCT/JP2007/050121

申请日：2007-01-10

Applicant: 日東電工株式会社 ,  小林 孝正 ,  萩原 陸宏 ,  矢野 祐樹 ,  自然 浩次

Inventor： 小林 孝正 ,  萩原 陸宏 ,  矢野 祐樹 ,  自然 浩次

IPC: G01N21/896 ,  G01M11/00 ,  G02B5/30

CPC classification number: G01N21/8422 ,  G01N21/21 ,  G01N21/896

Abstract: 　検査用偏光フィルタや検査用位相差フィルタを用いて偏光子を有する積層フィルムの欠陥検査を行うに際し、撮影光路中に配置すべき部材を適切な順序で配置する。偏光板１と、光学補償層とが積層された積層フィルム１１の欠陥検出方法であって、積層フィルム１１のフィルム面の偏光板積層側に配置された光源により光を照射する工程と、フィルム面の光学補償層側に配置された撮像部１２により、積層フィルム１１の透過光像を撮影する工程と、撮像部１２により撮影された透過光像に基づいて、積層フィルム１１に存在する欠陥の検出を行う欠陥検出工程とを有し、光源１３と撮像部１２の間の光路上であって、撮像部１３に隣接配置される検査用偏光フィルタ１５と、光源１３と撮像部１２の間の光路上であって、検査用偏光フィルタ１５と積層フィルム１１の間に配置される検査用位相差フィルタ１６と介して撮像部１２による撮像が行われる。

Abstract translation: 当通过使用检查偏振滤光器或检查相位差滤波器检查具有偏振器的分层膜的缺陷时，要以布置在成像光路中的构件以适当的顺序排列。 具有偏振板（1）和光学补偿层的层状膜（11）的缺陷检测方法包括：从层叠膜的膜表面的偏振片层侧配置的光源施加光 11）; 通过布置在膜表面的光学补偿层侧的成像单元（12）对层状膜（11）的透射光图像进行成像的步骤; 以及缺陷检测步骤，用于根据由成像单元（12）捕获的透射光图像来检测存在于层状膜（11）上的缺陷。 成像单元（12）经由布置在光源（13）和成像单元（12）之间的光路上并与成像单元（12）相邻的检查偏振滤光器（15）进行成像; 以及布置在光源（13）和成像单元（12）之间的光路之间以及检查偏光滤光器（15）和分层膜（11）之间的检查相位差滤波器（16）。