公开(公告)号：WO2019111800A1

公开(公告)日：2019-06-13

申请号：PCT/JP2018/044026

申请日：2018-11-29

Applicant: 横河電機株式会社

Inventor： 村山　広大 ,  伊東　篤志 ,  渡邉　芙美枝

IPC: G01N21/19 ,  G01J3/447 ,  G01N21/21

CPC classification number: G01J3/447 ,  G01N21/19 ,  G01N21/21

Abstract: 複数の波長成分を含む光を出射する光源と、光源から出射された光を試料に照射させる直線偏光の光に変換する偏光子と、試料を介した光に含まれる第１偏光成分を第１方向に回折させて波長分散させ、第２偏光成分を前記第１方向とは異なる第２方向に回折させて波長分散させる偏光回折素子と、偏光回折素子の出射側に配置され、第１方向と交差する第１出射面と第２方向と交差する第２出射面とを有し、第１方向及び第２方向が含まれる基準面に対する第１出射面及び第２出射面の角度が互いに異なるプリズムと、プリズムの第１出射面から出射される第１偏光成分の像と、第２出射面から出射される第２偏光成分の像とを撮像する撮像素子と、撮像素子の撮像結果に基づいて、試料を分析する処理装置と、を備える。

公开(公告)号：WO2018122814A1

公开(公告)日：2018-07-05

申请号：PCT/IB2017/058544

申请日：2017-12-30

Applicant: ISTITUTO NAZIONALE DI FISICA NUCLEARE

Inventor： DE LELLIS, Giovanni ,  ALEXANDROV, Andrey ,  TIOUKOV, Valeri ,  D'AMBROSIO, Nicola

IPC: G02B21/00 ,  G02B21/36

CPC classification number: G02B21/0092 ,  G01N15/0205 ,  G01N21/21 ,  G01N21/554 ,  G01N2015/0038 ,  G02B21/367

Abstract: Optical microscope (100) for detecting particles having sub-diffractive size within a sample, comprising: a display system (50), having a first objective (01); a polarising device (6); an analyser system (60), having a second objective (02) and a reflection element (7), wherein an optical path between the first objective (01) and the second objective (02) is divided into two identical parts symmetric with respect to a coupling plane; a sensor device (S2) configured to detect a plurality of beams corresponding to a plurality of polarisation configurations of the polarising device (6) that is reflected by the reflection element (7), thus acquiring a plurality of images; and one or more processing units configured to perform a two-dimensional method of analysis of the plurality di acquired images.

公开(公告)号：WO2018016409A1

公开(公告)日：2018-01-25

申请号：PCT/JP2017/025508

申请日：2017-07-13

Applicant: 株式会社アサヒビジョン

Inventor： 小出　珠貴 ,  池田　優二

IPC: A61B3/14 ,  A61B3/12 ,  G01N21/19 ,  G01N21/21 ,  G01N21/27

CPC classification number: A61B3/12 ,  A61B3/14 ,  G01N21/19 ,  G01N21/21 ,  G01N21/27

Abstract: 本発明は、眼球の状態の微細な変化も検出可能で、疾患の早期発見等に有用な眼球分析装置および眼球分析方法を提供することを目的とする。　本発明の眼球分析装置は、光照射手段１０、光分離手段、分光手段を含み、前記光分離手段が、撮像手段２０を含み、前記分光手段が、波長可変フィルター３１を含み、光照射手段１０により、光が眼球１に照射され、波長可変フィルター３１により、前記光を照射された眼球１から出射する出射光が、分光され、撮像手段２０により、前記分光された出射光が撮像され、撮像して得られた画像上の画素によって、前記分光された出射光が、前記眼球の空間の位置に応じて二次元的に分離される。

Abstract translation:

本发明中，在眼睛状况的微小变化可以被检测，并提供早期检测或疾病等是有用的眼部分析器和眼分析方法。 本发明的眼分析器包括光照射装置10，分离装置，所述分离装置的光，所述光分离装置包括图像拾取装置20，分光装置包括一个可变波长滤波器31，光照射装置10 因此，光被照射到眼球1，波长可调谐滤波器31，从被光照射眼球1射出的出射光在光谱上，由摄像单元20，光谱上分离的发射光进行成像时，所述成像 通过光谱分离发射的光所获得的图像上的像素被二维根据眼睛的空间的位置分离。

公开(公告)号：WO2017181467A1

公开(公告)日：2017-10-26

申请号：PCT/CN2016/082597

申请日：2016-05-19

Applicant: 深圳市华星光电技术有限公司

Inventor： 海博

IPC: G02F1/13

CPC classification number: G02F1/1309 ,  G01M11/00 ,  G01M11/0285 ,  G01N21/21 ,  G01N21/25 ,  G01N21/59 ,  G09G3/006

Abstract: 一种测量液晶层（13）对入射光的液晶效率的方法，该方法包括：保持液晶层（13）的下偏振片（15）不变，使液晶层（13）的上偏振片（11）和下偏振片（15）处于第一状态，第一状态是指上偏振片（11）的偏光轴和下偏振片（15）的偏光轴平行的状态（S101）；在第一状态下，控制液晶面板画面的亮度为0灰阶，并测量目标位置液晶面板的亮度Lvx（S102）；在第一状态下，控制液晶面板画面的亮度为255灰阶，并测量目标位置液晶面板的亮度Lvy（S103）；根据亮度Lvx和亮度Lvy，确定液晶层（13）对入射光的液晶效率（S104）。通过上述方式，能够不用拆卸模组，测量次数少、简单，且效率和准确度均很高。

公开(公告)号：WO2017149397A1

公开(公告)日：2017-09-08

申请号：PCT/IB2017/050028

申请日：2017-01-05

Applicant: DASARI, Hanumesh Kumar ,  CHIYEDU, Nagaraja

Inventor： DASARI, Hanumesh Kumar ,  CHIYEDU, Nagaraja

IPC: G01N21/21

CPC classification number: G01N21/21 ,  G01J4/04 ,  G01J2004/005 ,  G01N21/255

Abstract: Aspects of the present disclosure relate to computer based compact optical measuring system for obtaining various optical properties including optical rotation, magnitude of optical rotation, optical absorption and transmittance of optically active organic and inorganic substances at several wavelengths, in which the need for electro optic modulation or magneto optic modulation is obviated. The disclosed system can be configured to accomplish non- destructive method of measuring both rotatory polarization and optical absorption (or transmittance) of chemical substances at several wavelengths. The disclosed system can be used as a spectropolarimeter as well as spectrophotometer by providing simple modifications to the components thereof.

Abstract translation: 本公开的方面涉及用于获得各种光学性质的基于计算机的小型光学测量系统，所述光学性质包括光旋转，光学旋转的大小，光学活性的有机和无机物质在多个波长处的光学吸收和透射率， 其中不需要电光调制或磁光调制。 所公开的系统可以被配置为实现测量多个波长处的化学物质的旋光偏振和光吸收（或透射比）的非破坏性方法。 所公开的系统可以通过对其组分进行简单的改变而用作分光偏振计以及分光光度计。

公开(公告)号：WO2017119911A1

公开(公告)日：2017-07-13

申请号：PCT/US2016/013199

申请日：2016-01-13

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： LI, Shifang ,  WEN, Youxian

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/21 ,  G01B11/02 ,  G01B11/06 ,  G01B11/30 ,  G01B11/303 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/399 ,  G01N2021/8845 ,  G01N2021/8848 ,  G03F7/70608 ,  G03F7/70625

Abstract: A system determines a value, such as a thickness, surface roughness, material concentration, and/or critical dimension, of a layer on a wafer based on normalized signals and reflected total intensities. A light source directs a beam at a surface of the wafer. A sensor receives the reflected beam and provides at least a pair of polarization channels. The signals from the polarization channels are received by a controller, which normalizes a difference between a pair of the signals to generate the normalized result. The value of the wafer is determined through analyzing the signal with a modeling of the system.

Abstract translation: 基于归一化信号和反射总强度，系统确定晶片上的层的值，例如厚度，表面粗糙度，材料浓度和/或临界尺寸。 光源将光束引导至晶片的表面。 传感器接收反射光束并提供至少一对极化通道。 来自极化信道的信号由控制器接收，该控制器对一对信号之间的差异进行归一化以生成归一化结果。 通过用系统建模分析信号来确定晶圆的价值。​​

公开(公告)号：WO2017071721A1

公开(公告)日：2017-05-04

申请号：PCT/EP2015/002122

申请日：2015-10-26

Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E . V .

Inventor： ZIMMERMANN, Heiko ,  STRACKE, Frank ,  LE HARZIC, Ronan

IPC: G01N21/21

CPC classification number: G01N21/4788 ,  G01N21/21 ,  G01N21/49 ,  G01N2021/479 ,  G01P13/00

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur optischen In-Vitro-Detektion einer Bewegung in einer biologischen Probe und/oder zur optischen In-Vitro-Detektion einer Bewegung eines Probenbestandteils der biologischen Probe. Das Verfahren umfasst die Schritte: (a) Bereitstellen einer optischen Weitfeld-Beleuchtungseinrichtung zur Beleuchtung der Probe, die ausgebildet ist, die ganze Probe zu beleuchten, und eines Detektors (3) zur Erfassung von der Probe kommender Strahlung (9; 9a, 9b). Der Detektor (3) weist eine Detektionsflache (3a) auf, die in mehrere Detektionsbereiche (4a) unterteilt ist. Der Detektor ist ferner ausgebildet, Detektionssignale (4c) einzelner Detektionsbereiche (4a) nach der Zeit abzuleiten (S1), anschließend gleichzurichten (S2), vorzugsweise durch Betragsbildung oder Quadrierung, und die abgeleiteten und gleichgerichteten Detektionssignale aller Detektionsbereiche zu summieren oder zu mittein (S3) und dann als Ausgabesignal (6c) bereitzustellen. Das Verfahren umfasst ferner das Beleuchten der Probe mit der Weitfeld- Beleuchtungseinrichtung; und das Detektieren einer Bewegung in der biologischen Probe in Abhängigkeit von dem Ausgabesignal (6c) des Detektors (3).

Abstract translation:

本发明涉及一种用于光学体外检测的移动的生物样品中的方法和设备和/或向光学体外检测所述生物样品的样品成分的运动。 该方法包括以下步骤：（a）提供一个光学宽视野照明装置，用于照射所述样品，其适于照亮整个样品，并用于检测所述样品进入的辐射的检测器（3）（9; 9A，9B） ， 检测器（3）具有分成多个检测区域（4a）的检测表面（3a）。 所述检测器进一步适于以导出检测信号（图4c），优选由大小形成或平方，并且所有的检测区域的，或平均所导出和整流的检测信号相加的时间（S1），随后ROAD端整流（S2），之后个别检测区域（4a）的 （S3），然后提供作为输出信号（6c）。 该方法还包括用远场照明装置照射样品; 并响应于检测器（3）的输出信号（6c）检测生物样品中的移动。

公开(公告)号：WO2017062644A1

公开(公告)日：2017-04-13

申请号：PCT/US2016/055787

申请日：2016-10-06

Applicant: HINDS INSTRUMENTS, INC.

Inventor： WANG, Baoliang

IPC: G01J3/447 ,  G01J4/00 ,  G01N21/21 ,  G01N21/25 ,  G02F1/01

CPC classification number: G01J3/447 ,  G01J4/00 ,  G01N21/19 ,  G01N21/21 ,  G01N21/253

Abstract: Example embodiments of methods, apparatus, and systems for measuring polarimetric parameters using spectroscopy are disclosed herein. Particular embodiments concern circular dichroism (CD) spectrometers that use a vertically aligned beam. In such embodiments, the solution being analyzed may have a top surface that forms a convex or concave meniscus, creating a surface through which the measuring beam passes that may refract the beam in undesirable ways. Accordingly, particular embodiments of the disclosed technology include one or more meniscus-compensating (meniscus-effect-reducing) components or subsystems. These components and/or subsystems can be used alone or in combination with one another to reduce the undesirable refractive effects caused by the meniscus at the solution' s surface, thereby improving the resulting quality of the spectroscopy measurement and potentially improving the speed with which CD spectroscopy can be performed.

Abstract translation: 本文公开了使用光谱测量偏振参数的方法，装置和系统的示例实施例。 特定实施例涉及使用垂直排列的光束的圆二色性（CD）光谱仪。 在这样的实施例中，被分析的溶液可以具有形成凸或凹弯月面的顶表面，从而产生测量光束通过的表面，该表面可以以不期望的方式折射光束。 因此，所公开的技术的特定实施例包括一个或多个弯液面补偿（弯月面效应降低）部件或子系统。 这些部件和/或子系统可以单独使用或者彼此组合使用以减少由溶液表面上的弯液面引起的不期望的折射效应，从而改善光谱测量的最终质量并且潜在地提高CD的速度 可以进行光谱学。

公开(公告)号：WO2017042064A1

公开(公告)日：2017-03-16

申请号：PCT/EP2016/070469

申请日：2016-08-31

Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.

Inventor： GRUBER, Florian ,  GRÄHLERT, Wulf ,  WOLLMANN, Philipp

IPC: G01N21/55 ,  G01N21/59

CPC classification number: G01N19/04 ,  G01N21/21 ,  G01N21/55 ,  G01N21/59 ,  G01N2021/1765

Abstract: Bei der Anordnung zur Bestimmung der erreichbaren Haftfestigkeit vor Ausbildung einer stoffschlüssigen Verbindung an einer Oberfläche eines Fügepartners sind mehrere Detektoren, die zur ortsaufgelösten spektralen Analyse elektromagnetischer Strahlung innerhalb eines Wellenlängenintervalls ausge bildet sind, vorhanden angeordnet und mit einer elektronischen Auswerte einheit verbunden. Sie können von einer breitbandigen Strahlungsquelle emittierte Strahlung einer Reflexion an der Oberfläche eines der Fügepartner, einer und/oder nach dem Durchstrahlen der für die elektromagnetische Strahlung transparenten Fügepartner auf die Detektoren auftrifft, detektieren. Dabei soll eine lateral und zeitlich homogene Intensität der elektromagnetischen Strahlung eingehalten sein. Der Fügepartner ist aus einem Werkstoff gebildet, der die jeweilige elektromagnetische Strahlung nicht 100 %-ig absorbiert und so eine Transmission und/oder Reflexion möglich ist. Die elektronische Aus werteeinheit ist so ausgebildet, dass die orts- und wellenlängenaufgelöst erfassten Messsignale der Detektoren innerhalb eines Wellenlängenintervalls für einzelne Ortspunkte, die auf einer vorgebbaren Fläche angeordnet sind, erfassbar sind und an mehreren Positionen erfasste Messsignale jeweils einem Teilbereich der detektierten Fläche (Hypercube) zuordenbar sind. Für alle Messsignale der Teilbereiche ist eine Datenreduzierung durchführbar. Anhand dieser selektierten Merkmale ist mit eines im Speicher abgelegten Regressionsmodells eine Aussage über eine dementsprechende Haftfestigkeit erreichbar.

Abstract translation: 在用于材料键形成之前确定可达到的粘合强度接合伙伴多个检测器的波长间隔内是用于电磁辐射的空间解析光谱分析的表面的布置是形式与电子评估可用的和连接的装置。 它们可以从对接件，一个和/或通过透明传递的电磁辐射检测接合配对后的检测器撞击在表面上的反射的宽带辐射源发出的光。 在这种情况下，待粘附的电磁辐射的横向均匀和时间上的强度。 接合伙伴正形成的材料作为发送和/或反射的，能够不被吸收100％-Ig和相应的电磁辐射。 该电子评估单元是这样设计的波长间隔为单个空间点，其被布置在一个预定表面内的检测器的位置 - 和波长分辨检测到的测量信号，可被检测并在每种情况下在几个位置测量信号记录在检测到的面部的（超立方体）的部分区域 转让。 对于子区域数据减少的所有测量信号是可行的。 基于这些选定特征可与一个存储在存储器中的回归模型的声明关于相应的粘附来实现。

公开(公告)号：WO2016159766A1

公开(公告)日：2016-10-06

申请号：PCT/NL2016/050217

申请日：2016-03-30

Applicant: NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

Inventor： VAN BRUG, Hedser ,  VISSER, Huibert

IPC: G01N21/21 ,  G01N21/47 ,  G01N21/17 ,  G01J4/00 ,  G01N21/53 ,  G01N15/00

CPC classification number: G01N21/21 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0224 ,  G01J4/04 ,  G01N21/538 ,  G01N2021/1793 ,  G01N2021/4704 ,  G01N2021/4711 ,  G01N2021/4792

Abstract: The invention pertains to an aerosol detector system for spatially resolved detection of an aerosol distribution in an area, comprising: a wide field polarization preserving telescope having telecentric imaging optics for imaging the earth surface onto a detector; said detector receiving phase stepped images imaged by said telescope; and a controller coupled to the detector, arranged to provide a resulting image as a function of corresponding pixel values of the multiple images to produce an image at a spatially resolved polarization state corresponding to said aerosol substance; wherein the telescope comprises a first telecentric imaging lens group and a wavelength filter positioned in a field image of the first telescope telecentric beam to define a spectral range of interest; the telescope further comprising: a converging lens group converging the beam to a pupil stop; relay optics including a second telecentric imaging lens group arranged to generate a telecentric beam; and splitter optics, comprising a polarization splitter for the selected wavelength range to split the telecentric beam into polarized beams; a further splitter; and a retarder to create multiple phase stepped images at different polarizations, the detector comprising multiple image sensors positioned in imaging planes after the splitter optics, and said polarization splitter, further splitter and retarder positioned in the telecentric beam of the second telecentric imaging lens group.

Abstract translation: 本发明涉及用于空间分辨检测区域中的气溶胶分布的气溶胶检测器系统，包括：具有用于将地球表面成像到检测器上的远心成像光学器件的宽场偏振保留望远镜; 所述检测器接收由所述望远镜成像的阶段式图像; 以及耦合到所述检测器的控制器，被布置为提供作为所述多个图像的相应像素值的函数的结果图像，以产生对应于所述气溶胶物质的空间分辨的极化状态的图像; 其中望远镜包括位于第一望远镜远心光束的场图像中的第一远心成像透镜组和波长滤光器，以限定感兴趣的光谱范围; 所述望远镜还包括：会聚透镜组，将所述光束会聚到光瞳挡块; 中继光学器件，包括布置成产生远心光束的第二远心成像透镜组; 和分离器光学器件，包括用于所选波长范围的偏振分离器，以将远心光束分裂成偏振光束; 另一个分路器 以及延迟器，以在不同偏振下产生多个相位阶梯图像，所述检测器包括位于分离器光学器件之后的成像平面中的多个图像传感器，以及位于第二远心成像透镜组的远心光束中的所述偏振分离器，进一步的分离器和延迟器。