流体制御装置
    1.
    发明申请
    流体制御装置 审中-公开
    流体控制装置

    公开(公告)号:WO2007023972A1

    公开(公告)日:2007-03-01

    申请号:PCT/JP2006/316784

    申请日:2006-08-21

    Abstract: 本発明に係る流体制御装置は、流路の開口面積を変化させることにより流体の流量を制御する流体制御弁と、流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器と、該流量計測器からの前記電気信号と設定流量との偏差に基づいて、前記流体制御弁の開口面積を制御するための指令信号を、前記流体制御弁または該流体制御弁を操作する機器へ出力する制御部と、を具備することを特徴としている。

    Abstract translation: 流体控制装置设置有流体控制阀,用于通过改变流动通道的开口面积来控制流体的流量; 流量测量装置,用于测量流体的流量,将流量的测量值转换成电信号并输出​​信号; 以及控制部分,用于基于从所输出的设定流量的电信号的偏差输出用于控制流体控制阀的开口面积的指令信号到流体控制阀或操作流体控制阀的装置 流量测量装置。

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