公开(公告)号：WO2005119172A1

公开(公告)日：2005-12-15

申请号：PCT/JP2005/010191

申请日：2005-06-02

Applicant: 旭硝子株式会社 ,  尊田 嘉之 ,  大音 仁昭 ,  加藤 宗寿 ,  城山 厚

Inventor： 尊田 嘉之 ,  大音 仁昭 ,  加藤 宗寿 ,  城山 厚

IPC: G01B11/25

CPC classification number: G01N21/896 ,  G01N2021/9513

Abstract: 　安価な装置構成で裏面反射像の影響を除去して、表面形状の特性を精度よく検査することができる検査方法および検査装置を提供する。まず、透明板状体３（被検査物体）に適するストライプパターンとして、透明板状体の表面による反射像と透明板状体の裏面による反射像とが、撮像によって得られた画像信号では分離するように設定された明暗のパターンを有するストライプパターン１を決定する。その後、決定されたストライプパターン１を使用して、ストライプパターン１の透明板状体３の表面による反射像のみを用いて画像解析によって透明板状体３の表面形状を評価する。

Abstract translation: 提供一种方法和装置，用于通过以低成本的装置结构消除后表面反射图像的影响来精确地检查前表面形状的特性。 首先，具有深色图案的条形图案（1），其中由透明板状体（3）的前表面（待检查对象）反射的反射图像和反射图像 通过由透明板状体的后表面反射而形成的图像被设置为通过图像拾取获得的图像信号分离，被确定为适合于透明板状体的条纹图案。 然后，通过使用确定的条纹图案（1），透明板状体（3）的前表面形状通过仅使用由透明板状体（3）的正面反射的反射图像进行图像分析来评价， （1）的形状体（3）。