公开(公告)号：WO2019176785A1

公开(公告)日：2019-09-19

申请号：PCT/JP2019/009397

申请日：2019-03-08

Applicant: 東レ株式会社

Inventor： 小林秀行 ,  諏訪充史 ,  飯塚英祐 ,  東後行倫

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G03F7/075 ,  G03F7/20 ,  G06F3/041 ,  C08G77/24 ,  G06F3/044

Abstract: （Ａ）白色顔料、（Ｂ）シロキサン樹脂、（Ｃ）光重合開始剤、（Ｄ）光重合性化合物および（Ｅ）有機溶媒を含有するネガ型感光性着色組成物であって、前記（Ｂ）シロキサン樹脂が、少なくとも下記一般式（１）で表される繰り返し単位および／または下記一般式（２）で表される繰り返し単位と、下記一般式（３）で表される繰り返し単位とを含み、前記（Ｂ）シロキサン樹脂の全繰り返し単位中、下記一般式（１）で表される繰り返し単位および下記一般式（２）で表される繰り返し単位を合計４０～８０モル％含有するネガ型感光性着色組成物； 上記一般式（１）～（３）中、Ｒ １ は、水素の全部または一部がフッ素で置換された炭素数１～１０のアルキル基、アルケニル基、アリール基またはアリールアルキル基を表す；Ｒ ２ は、単結合、－Ｏ－、－ＣＨ ２ －ＣＯ－、－ＣＯ－または－Ｏ－ＣＯ－を表す；Ｒ ３ は、炭素数１～２０の１価の有機基を表す；Ｒ ４ は、それぞれ同じでも異なってもよく、炭素数１～２０の１価の有機基を表す。厚膜であっても、高解像度で、反射率が高く、耐熱性に優れた硬化膜を形成することができるネガ型感光性着色組成物を提供する。

公开(公告)号：WO2023048016A1

公开(公告)日：2023-03-30

申请号：PCT/JP2022/034188

申请日：2022-09-13

Applicant: 東レ株式会社

Inventor： 飯塚英祐 ,  諏訪充史 ,  小林秀行 ,  藤井真実

IPC: G03F7/075 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50 ,  C08F290/12 ,  G02F1/1335 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  G03F7/038 ,  G09F9/30 ,  H01L33/00 ,  H01L33/50 ,  H05B33/02 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22 ,  H10K50/00 ,  H10K59/00

Abstract: 本発明は、プリベーク後の膜のタックレス性と、キュア後の耐熱性を両立した厚膜隔壁を、高露光量加工時にもフォトマスクの設計線幅通りに形成可能な樹脂組成物を提供することを目的とする。本発明の目的は、光ラジカル発生剤と、ヒンダードフェノール化合物および／またはヒンダードアミン化合物と、特定の構造を含むポリシロキサンと、特定の構造を含む（メタ）アクリルポリマおよび／または特定の構造を含むカルド系ポリマとを含有する樹脂組成物であって、前記ポリシロキサンの重量と（メタ）アクリルポリマおよびカルド系ポリマの合計重量の比が３０／７０～７０／３０である樹脂組成物により達成できる。

公开(公告)号：WO2019026458A1

公开(公告)日：2019-02-07

申请号：PCT/JP2018/023623

申请日：2018-06-21

Applicant: 東レ株式会社

Inventor： 飯塚英祐 ,  山口美智子 ,  諏訪充史 ,  鴨川政雄

IPC: C08L83/07 ,  C08G77/20 ,  C08L83/04 ,  C09J4/00 ,  C09J183/04 ,  C09J183/07 ,  H01L21/52

Abstract: 接着性および微細パターン加工性に優れるシロキサン樹脂組成物を提供する。下記一般式（１）で表される構造、下記一般式（２）で表される構造および下記一般式（３）で表される構造を含むシロキサン樹脂（Ａ）、不飽和二重結合を有する化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）および溶剤（Ｄ）を含有するシロキサン樹脂組成物である。 （一般式（１）～（３）中、Ｒ １ 、Ｒ ２ およびＲ ３ はそれぞれ独立に水素、ヒドロキシ基、シロキサン結合を有する基または炭素数１～３０の１価の有機基を表す。Ｘはアルケニル基、アルキニル基、窒素原子と炭素－酸素不飽和結合とを有する１価の有機基または環式エーテル結合を有する１価の有機基を表す。Ｙは光ラジカル重合性基（ただし、アルケニル基およびアルキニル基を除く）を有する１価の有機基を表す。Ｚはアルカリ可溶性基を有する１価の有機基を表す。ａ、ｂおよびｃはそれぞれ独立に１以上の整数を表す。ａ～ｃが２以上の場合、複数のＲ １ 、Ｒ ２ 、Ｒ ３ 、Ｘ、ＹおよびＺはそれぞれ同じであっても異なっていてもよい。）

公开(公告)号：WO2023048062A1

公开(公告)日：2023-03-30

申请号：PCT/JP2022/034553

申请日：2022-09-15

Applicant: 東レ株式会社

Inventor： 飯塚英祐 ,  諏訪充史 ,  藤井真実 ,  鴨川政雄

IPC: C09D183/04 ,  C08F290/14 ,  C08G77/08 ,  C08K5/19 ,  C08K5/42 ,  C08K5/52 ,  C08L83/04 ,  G03F7/075

Abstract: 本発明の目的は、保存安定性に優れ、耐溶剤性に優れた硬化膜を得ることができる硬化膜形成用シロキサン樹脂組成物を比較的安価に提供する。また、触媒の除去工程がなくても、保存安定性が良好なポリシロキサンを製造することである。本発明の硬化膜形成用樹脂組成物は、ポリシロキサンと、有機塩と、溶剤とを含有する樹脂組成物で合って、前記有機塩の１．０質量％水溶液におけるｐＨ値が３．０～５．５である硬化膜形成用樹脂組成物である。また、本発明のポリシロキサンの製造方法は、原料としてアルコキシシランを用いて、加水分解および／または熱縮合の触媒として有機塩を用いるポリシロキサンの製造方法であって、前記有機塩の１．０質量％水溶液におけるｐＨ値が３．０～５．５であることを特徴とするポリシロキサンの製造方法である。

公开(公告)号：WO2019102655A1

公开(公告)日：2019-05-31

申请号：PCT/JP2018/029343

申请日：2018-08-06

Applicant: 東レ株式会社

Inventor： 飯塚英祐 ,  諏訪充史 ,  小林秀行

IPC: G03F7/075 ,  C08F2/44

Abstract: 保存安定性に優れ、１００℃以下の低温硬化条件においても、ガラス基板や金属基板との密着性および耐薬品性に優れた硬化膜を得ることができるシロキサン樹脂組成物を提供する。（Ａ）ポリシロキサン、（Ｂ）感光剤、（Ｃ）リン原子を有する重合性化合物および（Ｄ）ウレイド基を有するシラン化合物を含有するシロキサン樹脂組成物である。

公开(公告)号：WO2018168435A1

公开(公告)日：2018-09-20

申请号：PCT/JP2018/007150

申请日：2018-02-27

Applicant: 東レ株式会社

Inventor： 小林秀行 ,  諏訪充史 ,  飯塚英祐

IPC: G03F7/004 ,  B32B27/00 ,  G03F7/027 ,  G03F7/075 ,  G03F7/40 ,  G06F3/041

Abstract: 本発明は、低温硬化が可能で、保存安定性および解像度に優れ、現像残渣を抑制することでき、硬度が高く、耐薬品性、基板密着性に優れる硬化膜を得ることのできる感光性シロキサン樹脂組成物を提供することを課題とする。本発明は、（Ａ）ポリシロキサン、（Ｂ）光ラジカル重合開始剤、（Ｃ）多官能モノマーおよび（Ｄ）リン酸誘導体アミン塩を含有する感光性シロキサン樹脂組成物である。