公开(公告)号：WO2009069204A1

公开(公告)日：2009-06-04

申请号：PCT/JP2007/072962

申请日：2007-11-28

Applicant: 東芝三菱電機産業システム株式会社 ,  田畑 要一郎 ,  渡辺 謙資 ,  吉田 章男

Inventor： 田畑 要一郎 ,  渡辺 謙資 ,  吉田 章男

IPC: H05H1/24 ,  C23C16/509 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01J37/32825 ,  C23C16/4405 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/32348 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2412

Abstract: 　エッチング処理／クリーニング処理において、原料ガス及び活性化ガスによる内部部材の腐食を確実に防止することができ、長寿命で信頼性の高い誘電体バリア放電装置を提供する。このため、平板状の接地電極と高圧電極との間に誘電体を配置するとともに、この誘電体と接地電極との間に、四方がガスシールドされた放電空間部を形成するスペーサを配置する。そして、放電セルを覆う発生器カバーの内部空間に対してガスシールドされるように、原料ガス供給部と活性化ガス排出部とを設置する。また、上記内部空間に、原料ガスとは異なるパージガスを供給する。

Abstract translation: 提供了一种高度可靠的电介质阻挡物排出装置，其中可以可靠地防止在蚀刻处理/清洁处理中使用原料气体和活性气体的内部构件的腐蚀并且具有长寿命。 在平坦的接地电极和高电压电极之间设置电介质，并且在电介质和接地电极之间布置有形成有四边被气体屏蔽的放电空间部分的间隔物。 安装原料气体供给部和活性气体排出部，使得在覆盖放电单元的发电机盖的内部空间中屏蔽气体。 将与原料气体不同的吹扫气体供应到内部空间。

公开(公告)号：WO2009028084A1

公开(公告)日：2009-03-05

申请号：PCT/JP2007/066990

申请日：2007-08-31

Applicant: 東芝三菱電機産業システム株式会社 ,  田畑 要一郎 ,  渡辺 謙資

Inventor： 田畑 要一郎 ,  渡辺 謙資

IPC: H01L21/31 ,  C23C16/503

CPC classification number: C23C16/505 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/32348 ,  H01J37/32724

Abstract: 　高エネルギーのラジカルガスを高密度、且つ高効率で取り出して、被処理物質に供給することができる誘電体バリア放電ガスの生成装置を提供する。このため、平板状の第１電極と第２電極とを対向位置に配置し、両電極間に誘電体を配置する。また、第１電極及び誘電体の間に放電空間部を設け、第１電極及び誘電体の間隙内に、三方がガスシールドされて残りの一方が第１電極及び誘電体の各端面側に開口する放電空間部を形成する。更に、少なくとも第１電極を冷却する冷却部と、上記放電空間部に原料ガスを供給するガス供給部とを備える。そして、第１電極及び第２電極に交流電圧を印加して、放電空間部に誘電体バリア放電を発生させる。

Abstract translation: 公开了一种用于产生电介质阻挡放电气体的装置，其能够高效率地取出高能量自由基气体并将气体供给到待处理物体。 具体地，在该装置中，板状第一电极和第二电极彼此相对布置，并且电介质体设置在电极之间。 在第一电极和电介质体之间形成放电空间，并且放电空间的三个侧面被气体屏蔽，而剩下的一侧向第一电极和电介质体的端面开口。 用于产生电介质阻挡放电气体的装置还包括用于至少冷却第一电极的冷却单元和用于将原料气体供给到放电空间的气体供给单元。 通过向第一电极和第二电极施加交流电压，在放电空间中产生电介质阻挡放电。

公开(公告)号：WO2009154037A1

公开(公告)日：2009-12-23

申请号：PCT/JP2009/057758

申请日：2009-04-17

Applicant: 三菱電機株式会社 ,  東芝三菱電機産業システム株式会社 ,  生沼 学 ,  稲永 康隆 ,  野田 清治 ,  谷村 泰宏 ,  田畑 要一郎 ,  渡辺 謙資

Inventor： 生沼 学 ,  稲永 康隆 ,  野田 清治 ,  谷村 泰宏 ,  田畑 要一郎 ,  渡辺 謙資

IPC: G01N31/00 ,  H05H1/00 ,  H05H1/24 ,  G01N21/35

CPC classification number: G01N33/0013

Abstract: 【課題】窒素原子密度を大気圧近傍でリアルタイムに測定する窒素原子測定方法を提供する。 【解決手段】窒素原子測定方法は、大気圧近傍で窒素原子の密度を測定する窒素原子測定方法であって、窒素原子発生源で発生した窒素原子含有ガスのうち所定量に対し、上記窒素原子発生源の下流において、濃度が既知の所定量の一酸化窒素ガスを混合する手順と、上記窒素原子含有ガスと混合された上記一酸化窒素ガスの反応後に、一酸化窒素の密度と二酸化窒素の密度を測定する手順と、窒素原子密度は上記一酸化窒素ガスの既知の濃度から測定した上記一酸化窒素の濃度と測定した上記二酸化窒素の濃度との和を減算して得る差であるという関係を用いて窒素原子密度を算出する手順と、を有する。

Abstract translation: 提供了一种测量氮原子的方法，其中在大气压力附近实时测量氮原子密度。 一种测量氮原子的方法，其中在大气压附近测量氮原子密度，其包括：将一定量的氮原子源产生的含氮原子气体的部分与一定量的一氧化氮 在上述氮原子源的下游具有已知浓度的气体; 在上述含氮原子的气体和与其混合的上述一氧化氮气体反应完成后，测定一氧化氮密度和二氧化氮密度的步骤; 以及使用氮原子密度对应于从上述测定的上述测定的一氧化氮浓度和上述二氧化氮浓度之和而得到的差的关系来计算氮原子密度的步骤，从已知的氮浓度 如上所述的一氧化碳气体

公开(公告)号：WO2009157060A1

公开(公告)日：2009-12-30

申请号：PCT/JP2008/061483

申请日：2008-06-24

Applicant: 東芝三菱電機産業システム株式会社 ,  渡辺 謙資 ,  山田 義人

Inventor： 渡辺 謙資 ,  山田 義人

IPC: H01L21/31 ,  H01L21/318

CPC classification number: H01L21/3143 ,  H01L21/02332 ,  H01L21/67207

Abstract: 　本窒素ラジカル発生器（１００）は、一主面（１０４ｍ）を有するナノシリコン層（１０４）を含むポリシリコン層（１０３）、ポリシリコン層（１０３）の他の主面（１０３ｎ）上に形成されているシリコン基板電極（１０２）、ナノシリコン層（１０４）の一主面（１０４ｍ）上に形成されている表面電極（１０５）、これらを収納する第１チャンバ（１０１）、表面電極（１０５）に正の電圧Ｖ 1 を印加する第１電源（１０９）、窒素ガスを第１チャンバ（１０１）内に流入させるガス流入口（１０７）、正の電圧Ｖ 1 を印加した際にナノシリコン層（１０４）の一主面（１０４ｍ）から放出される電子を窒素ガスに接触させて窒素ラジカルを発生させる窒素ラジカル発生空間（１４０）、および窒素ラジカルを第１チャンバ（１０１）から流出させるラジカル流出口（１０８）を備える。これにより、プラズマを発生させることなく窒素ラジカルを発生させ、構造が簡単で小型化ができる窒素ラジカル発生器が提供される。

Abstract translation: 本发明提供了一种在不产生等离子体的情况下产生氮自由基的氮自由基发生器，结构简单，可实现尺寸减小。 氮自由基发生器（100）包括多晶硅层（103），其包括具有一个主面（104m）的纳米硅层（104），设置在多晶硅层的另一主面（103n）上的硅基板电极 103），设置在纳米硅层（104）的一个主面（104m）上的表面电极（105），用于容纳这些元件的第一室（101），用于施加正电压的第一电源（109） ），表面电极（105），用于使氮气流入第一室（101）的气体流入口（107），用于使从一个主面（104m）释放的电子的氮根生成空间（140） 所述纳米硅层（104）在施加正电压（V1）时与所述氮气接触以产生氮自由基，以及用于使所述氮自由基从所述第一室排出的自由基流出口（108） 101）。