公开(公告)号：WO2009069204A1

公开(公告)日：2009-06-04

申请号：PCT/JP2007/072962

申请日：2007-11-28

Applicant: 東芝三菱電機産業システム株式会社 ,  田畑 要一郎 ,  渡辺 謙資 ,  吉田 章男

Inventor： 田畑 要一郎 ,  渡辺 謙資 ,  吉田 章男

IPC: H05H1/24 ,  C23C16/509 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01J37/32825 ,  C23C16/4405 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/32348 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2412

Abstract: 　エッチング処理／クリーニング処理において、原料ガス及び活性化ガスによる内部部材の腐食を確実に防止することができ、長寿命で信頼性の高い誘電体バリア放電装置を提供する。このため、平板状の接地電極と高圧電極との間に誘電体を配置するとともに、この誘電体と接地電極との間に、四方がガスシールドされた放電空間部を形成するスペーサを配置する。そして、放電セルを覆う発生器カバーの内部空間に対してガスシールドされるように、原料ガス供給部と活性化ガス排出部とを設置する。また、上記内部空間に、原料ガスとは異なるパージガスを供給する。

Abstract translation: 提供了一种高度可靠的电介质阻挡物排出装置，其中可以可靠地防止在蚀刻处理/清洁处理中使用原料气体和活性气体的内部构件的腐蚀并且具有长寿命。 在平坦的接地电极和高电压电极之间设置电介质，并且在电介质和接地电极之间布置有形成有四边被气体屏蔽的放电空间部分的间隔物。 安装原料气体供给部和活性气体排出部，使得在覆盖放电单元的发电机盖的内部空间中屏蔽气体。 将与原料气体不同的吹扫气体供应到内部空间。