公开(公告)号：WO2004012258A1

公开(公告)日：2004-02-05

申请号：PCT/JP2003/009544

申请日：2003-07-28

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ ,  小原 健二 ,  高木 裕治 ,  渋谷 久恵

Inventor： 小原 健二 ,  高木 裕治 ,  渋谷 久恵

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G06T7/0004 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/20 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 製造装置の異常を自動的に早期に感知し、警告を発することによって不良作り込みを防止する手段を提供する。　基板を順次処理して薄膜デバイスを形成する薄膜デバイスの製造工程において欠陥の発生の状態を監視する方法。薄膜デバイスの製造工程のうちの所定の処理工程で処理された薄膜デバイスを検査して、所定の処理工程で処理したことにより発生した前記薄膜デバイス上の欠陥の分布の情報を得る。欠陥の分布の情報から薄膜デバイス上の着目領域を決め、薄膜デバイスの所定の処理工程で順次処理された薄膜デバイスを検査して所定の処理工程で処理したことにより前記着目領域内に発生した欠陥の数の時間的推移を監視する。　着目領域内に発生した欠陥の数が所定の量を超えたときには警報を発する。

Abstract translation: 一种用于自动快速地检测生产装置的异常情况并发出警报从而防止产生不良产品的装置。 一种在通过依次处理衬底来形成锡膜器件的薄膜器件制造工艺中监测缺陷发生状态的方法。 检查在薄膜器件制造工序中的规定处理工序中处理的薄膜器件，得到由于在规定的处理工序中的处理而发生的薄膜器件上的缺陷的分布信息。 根据缺陷分布信息确定的薄膜器件的注意区域，检查在指定的薄膜器件的处理过程中顺序处理的薄膜器件，以监视由于上述注意区域发生的缺陷数量的时间上的过渡 在指定的处理过程中进行处理。 当注意区域发生的缺陷数超过规定数量时，发出报警。