-
公开(公告)号:WO2011125099A1
公开(公告)日:2011-10-13
申请号:PCT/JP2010/002454
申请日:2010-04-02
IPC: G11B7/26
CPC classification number: G11B7/261 , G11B7/263 , Y10T428/24479 , Y10T428/2457 , Y10T428/24612
Abstract: 第1の材料20を含む基板40と、第2の材料30を含み、基板40表面に形成された領域と、基板40表面に形成された突起50と、を備え、第1の材料20はシリコンであり、第2の材料30はシリコン酸化物、アルミ酸化物、チタン酸化物、及びガラスから選択されることを特徴とするスタンパ製造用原盤10。
Abstract translation: 公开了一种用于生产压模的主机。 主机(10)包括:包括第一材料(20)的基板(40); 包括第二材料(30)并形成在所述基板(40)的表面上的区域; 以及形成在基板(40)的表面上的突起(50)。 第一材料(20)是硅,第二材料(30)选自氧化硅,氧化铝,氧化钛和玻璃。