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公开(公告)号:WO2015100781A1
公开(公告)日:2015-07-09
申请号:PCT/CN2014/070415
申请日:2014-01-09
Applicant: 深圳市华星光电技术有限公司 , 林佳龙
Inventor: 林佳龙
IPC: G02B5/20 , G02F1/1335
Abstract: 一种真空干燥机,包括底座(10)、上盖板(20)和设于所述底座(10)与所述上盖板(20)正对的一面上的加热组件(30)。所述真空干燥机将真空干燥和预烤功能集于一体,且真空干燥和预烤同时进行,降低了彩色滤光片制造过程中真空干燥和预烤制成所需的时间,提高了彩色滤光片的生产效率;并且,该真空干燥机只是在现有真空干燥机中增加了加热组件就实现了真空干燥机和预烤机两者的功能,降低了彩色滤光片的生产设备的成本。