公开(公告)号：WO2019054723A1

公开(公告)日：2019-03-21

申请号：PCT/KR2018/010620

申请日：2018-09-11

Applicant: 고려대학교 세종산학협력단

Inventor： 정병호 ,  강민진

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/02675 ,  H01L21/67011

Abstract: 레이저 결정화 장치가 제공된다. 상기 레이저 결정화 장치는, 고체 레이저를 출사하는 고체 레이저 광원, 상기 고체 레이저를 제1 결정화 레이저와 제2 결정화 레이저로 분리하는 스플릿 모듈, 상기 제2 결정화 레이저를 상기 제1 결정화 레이저 보다 소정 시간 늦게 출사하는 시간지연 모듈, 및 상기 제1 결정화 레이저 및 상기 제2 결정화 레이저 중 적어도 하나의 레이저 출사 경로에 마련되어, 결정화 레이저의 편광 상태를 제어하는 편광 상태 제어모듈을 포함하되, 상기 제1 결정화 레이저는 상기 제2 결정화 레이저 보다 강도가 강하고, 상기 제2 결정화 레이저 보다 결정화 대상체에 상기 소정 시간 먼저 제공될 수 있다.