公开(公告)号：WO2020096125A1

公开(公告)日：2020-05-14

申请号：PCT/KR2018/015381

申请日：2018-12-06

Applicant: 고려오트론(주)

Inventor： 김윤구 ,  문준 ,  김환선 ,  김정수 ,  신현덕 ,  임성빈 ,  박윤희

IPC: G02B26/10

Abstract: 본 발명은 리프트 방식의 정전 구동기 및 그를 갖는 광 스캐너에 관한 것이다. 본 발명에 따른 정전 구동기는 구동 전극부, 고정 전극부 및 리프트부를 포함한다. 구동 전극부는 구동 전극판과, 구동 전극판의 적어도 일측면을 따라서 형성된 복수의 구동 전극을 포함한다. 고정 전극부는 복수의 구동 전극이 형성된 상기 구동 전극판의 외측면과 마주보게 배치된 고정 전극판과, 고정 전극판에 형성되며 복수의 구동 전극과 서로 교번되게 배치된 복수의 고정 전극을 포함한다. 그리고 리프트부는 고정 전극부의 하부에 배치되며, 고정 전극판을 위로 올려 복수의 구동 전극과 복수의 고정 전극을 서로 어긋나게 한다.