잉크젯 프린팅 장치, 이를 이용한 잉크젯 헤드의 검사 방법

    公开(公告)号:WO2021167172A1

    公开(公告)日:2021-08-26

    申请号:PCT/KR2020/007171

    申请日:2020-06-02

    Abstract: 잉크젯 프린팅 장치 및 이를 이용한 잉크젯 헤드의 검사 방법이 제공된다. 잉크젯 프린팅 장치는 검사용 기판이 안착되는 검사 스테이지 유닛, 상기 검사 스테이지 유닛 상에 쌍극자 및 상기 쌍극자가 분산된 용매를 포함하는 잉크를 분사하는 적어도 하나의 잉크젯 헤드를 포함하는 잉크젯 헤드 유닛, 및 상기 잉크젯 헤드 유닛과 일 방향으로 이격되어 배치된 입자수 검사 유닛을 포함하되, 상기 입자수 검사 유닛은, 상기 검사 스테이지 유닛의 상부에 배치되는 제1 열처리 유닛, 상기 검사 스테이지 유닛의 하부에 배치되고, 상기 검사용 기판 상에 분사된 상기 쌍극자의 수를 측정하는 제1 센싱 유닛을 포함한다.

Patent Agency Ranking