Patent search ap:("에스케이실트론 주식회사") AND inv:"윤성훈" Page 1

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发明申请
실리콘 공급부, 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳의 성장 장치 및 방법 审中-公开

公开(公告)号：WO2019156323A1

公开(公告)日：2019-08-15

申请号：PCT/KR2018/015310

申请日：2018-12-05

Applicant: 에스케이실트론 주식회사

Inventor： 공정현 , 윤성훈 , 이호준

IPC: C30B15/02 , C30B15/32 , C30B15/10 , C30B15/14 , C30B15/30 , C30B29/06

Abstract: 실시예는 실리콘 공급 챔버; 상기 실리콘 공급 챔버의 하부 영역의 내측 벽에 구비된 홀더; 상기 실리콘 공급 챔버의 내부에서 제1 케이블에 의하여 수직 방향으로 승강하는 튜브; 상기 튜브의 외부에 구비되고, 상기 홀더와 수직 방향으로 중첩되는 가이드; 및 제2 케이블에 의하여 수직 방향으로 승강하고, 상기 튜브의 하부에 삽입되어 상기 튜브 하부를 개폐하는 마개를 포함하는 실리콘 공급부를 제공한다.

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