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公开(公告)号:WO2018147585A1
公开(公告)日:2018-08-16
申请号:PCT/KR2018/001279
申请日:2018-01-30
Applicant: 엘지전자 주식회사 , 서울대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 마찰 저항이 작고 내마모성을 개선할 수 있는 비정질 합금과 상기 비정질 합금으로 이루어진 타겟, 그리고 상기 합금층을 코팅층으로 포함한 압축기에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, Ti계 3원계 내지 5원계 비정질 합금을 이용하여 비정질을 주상으로 하는 미세조직을 제어함으로써 코팅층의 높은 경도와 낮은 탄성계수를 확보할 수 있다. 그 결과 코팅층이 기지로부터 박리되거나 파괴되는 것을 억제할 수 있어 압축기와 같은 기계 장치의 신뢰성 또는 내구성을 향상시킬 수 있는 효과를 가지게 된다.