公开(公告)号：WO2023063774A1

公开(公告)日：2023-04-20

申请号：PCT/KR2022/015592

申请日：2022-10-14

Applicant: 엘티메탈 주식회사

Inventor： 황병진 ,  이승이 ,  이효원 ,  장봉중 ,  전봉준 ,  진승현 ,  박재성 ,  양승호

IPC: C04B35/495 ,  C04B35/64 ,  C23C14/34 ,  C23C14/08 ,  H01L29/786 ,  H10K59/00

Abstract: 본 발명은 몰리브덴 산화물을 주(主)성분으로 하는 산화물 소결체, 상기 소결체를 포함하는 스퍼터링 타겟 및 이로부터 형성된 산화물 박막을 제공한다. 본 발명에서는 난(難)소결성 몰리브덴 산화물과 니오븀 산화물에 특정 (준)금속산화물을 소정 범위로 첨가함으로써, 무가압 소결을 실시하더라도 소결성 개선과 고밀도 특성을 동시에 확보할 수 있다.

公开(公告)号：WO2023063771A1

公开(公告)日：2023-04-20

申请号：PCT/KR2022/015584

申请日：2022-10-14

Applicant: 엘티메탈 주식회사

Inventor： 황병진 ,  이승이 ,  이효원 ,  장봉중 ,  전봉준 ,  진승현 ,  박재성 ,  양승호

IPC: C04B35/495 ,  C23C14/34 ,  C23C14/08 ,  H01L29/786 ,  H10K59/00

Abstract: 본 발명은 몰리브덴 산화물을 주(主)성분으로 하는 산화물 소결체, 상기 소결체를 포함하는 스퍼터링 타겟 및 이로부터 형성된 산화물 박막을 제공한다. 본 발명에서는 난(難)소결성 몰리브덴 산화물과 니오븀 산화물에 특정 (준)금속산화물을 소정 범위로 첨가함으로써, 무가압 소결을 실시하더라도 소결성 개선과 고밀도 특성을 동시에 확보할 수 있다.

公开(公告)号：WO2023059071A1

公开(公告)日：2023-04-13

申请号：PCT/KR2022/015007

申请日：2022-10-05

Applicant: 엘티메탈 주식회사

Inventor： 이효원 ,  이승이 ,  황병진 ,  장봉중 ,  전봉준 ,  진승현 ,  윤은섭 ,  박재성 ,  양승호

IPC: C04B35/495 ,  C23C14/34 ,  C23C14/08 ,  H01L29/786 ,  H01L27/32

Abstract: 본 발명은 저반사, 내화학성 및 내열성이 우수한 몰리브덴 산화물계 소결체, 상기 소결체를 이용한 박막, 상기 박막을 포함하는 박막트랜지스터 및 디스플레이 장치를 제공한다.