公开(公告)号：WO2018155837A1

公开(公告)日：2018-08-30

申请号：PCT/KR2018/001486

申请日：2018-02-05

申请人： 주식회사 메카로

发明人： 변영훈 ,  김호훈 ,  김점종 ,  배우리 ,  이윤식 ,  신수정 ,  강은영

IPC分类号： C07F7/00 ,  C23C16/455 ,  C23C16/18 ,  H01L21/02 ,  H01L21/285

CPC分类号： C07F7/00 ,  C23C16/18 ,  C23C16/455 ,  H01L21/02 ,  H01L21/285

摘要： 본 발명의 유기금속화합물 및 그 제조방법, 그리고 이를 이용한 박막 및 그 제조방법은 박막 증착 속도를 증가시키며 공정상 오염을 저하시킴과 동시에 넓은 온도 범위에서 사용될 수 있다. 또한, 제조공정의 신뢰도 및 효율성을 현저히 향상시킬 수 있다.