회절 격자 도광판용 몰드 기재의 제조방법 및 회절 격자 도광판의 제조방법

    公开(公告)号:WO2019035661A1

    公开(公告)日:2019-02-21

    申请号:PCT/KR2018/009398

    申请日:2018-08-16

    Abstract: 본 발명은 0.5 Ω /□ 이상의 면저항을 가지는 메쉬부가 상면에 구비된 파라데이 상자를 준비하는 단계; 상기 파라데이 상자의 바닥면에 샘플 기재를 구비하고, 평면 플라즈마 식각을 수행하여, 상기 파라데이 상자 내의 고식각 영역을 확인하는 단계; 경사면을 가지는 지지대를 준비하고, 상기 경사면의 하부 영역을 상기 파라데이 상자의 고식각 영역에 위치시키는 지지대 정렬 단계; 상기 지지대의 경사면 상에 몰드용 기재를 구비하는 단계; 및 플라즈마 식각을 이용하여, 상기 몰드용 기재의 일 측에 제 1 경사 패턴부 및 상기 몰드용 기재의 타 측에 제 2 경사 패턴부를 동시에 형성하는 패터닝 단계;를 포함하고, 상기 패터닝 단계에서의 식각률은 상기 경사면의 상부 영역에서 하부 영역으로 감소하다가 반전하여 증가하며, 상기 패터닝 단계에서의 식각률은 상기 경사면의 상부 영역에서 하부 영역으로 감소하다가 반전하여 증가하며, 상기 제 1 경사 패턴부의 깊이 구배를 가지는 경사 홈 패턴을 포함하고, 상기 제 2 경사 패턴부는 0nm 내지 50 nm의 깊이 편차를 가지는 경사 홈 패턴을 포함하는 회절 격자 도광판용 몰드 기재의 제조방법에 관한 것이다.

    전자 칠판
    8.
    发明申请
    전자 칠판 审中-公开
    电子板

    公开(公告)号:WO2015126178A1

    公开(公告)日:2015-08-27

    申请号:PCT/KR2015/001662

    申请日:2015-02-17

    CPC classification number: G06F3/0412 G06F2203/04103

    Abstract: 본 발명은 디스플레이 패널; 상기 디스플레이 패널의 상부에 배치되며, 편광자 및 고경도 플라스틱 필름이 일체화된 편광판; 및 사용자의 접촉을 통해 입력 정보를 인식하는 터치 센서를 포함하는 전자 칠판에 관한 것이다.

    Abstract translation: 电子板技术领域本发明涉及一种电子板,包括:显示面板; 设置在所述显示面板上的偏振片,所述偏振片包括偏振片和与其一体化的高硬度塑料膜; 以及用于通过用户的联系来识别输入信息的触摸传感器。

    파라데이 상자를 이용한 플라즈마 식각 방법

    公开(公告)号:WO2020096291A1

    公开(公告)日:2020-05-14

    申请号:PCT/KR2019/014784

    申请日:2019-11-04

    Abstract: 본 발명은 블레이징 형상을 가지는 패턴부를 효과적으로 제조할 수 있는 파라데이 상자를 이용한 플라즈마 식각 방법을 제공한다. 상기 파라데이 상자를 이용한 플라즈마 식각 방법은 식각용 기재의 일면에 1차 플라즈마 식각을 수행하여 금속 마스크를 통해 노출된 식각용 기재 일면의 일부 영역 상에 제1 패턴부를 형성하는 단계; 금속 마스크를 제거하고, 식각용 기재의 일면을 메쉬부가 상면에 구비된 파라데이 상자 내에서 파라데이 상자의 바닥면에 경사지게 위치시키고, 2차 플라즈마 식각을 수행하여 제1 패턴부를 블레이징 형상을 가지는 제2 패턴부로 형성하는 단계;를 포함한다.

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