公开(公告)号：WO2012023818A2

公开(公告)日：2012-02-23

申请号：PCT/KR2011/006088

申请日：2011-08-18

Applicant: 주식회사 엘지화학 ,  민경훈 ,  임예훈 ,  이대연 ,  송재익 ,  박수찬

Inventor： 민경훈 ,  임예훈 ,  이대연 ,  송재익 ,  박수찬

IPC: B24D11/00 ,  B24D7/00 ,  B24B7/00

CPC classification number: B24B37/26

Abstract: 본 발명은 유리판 연마 시스템용 연마 패드에 관한 것으로서, 연마 플레이트에 장착될 수 있으며, 연마액 공급부로부터 공급된 연마액을 연마면 상에서 이동시킬 수 있도록 미리 결정된 유로 패턴이 형성된 연마 패드에 있어서, 상기 유로 패턴은 적어도 2종류 이상이다.

Abstract translation: 玻璃板研磨装置用研磨垫技术领域本发明涉及一种玻璃板研磨装置用研磨垫，该研磨垫能够安装在研磨盘上，具有使从研磨液供给部供给的研磨液移动到研磨面上的规定的流路图案 在所形成的研磨垫中，至少存在两种​​以上的上述流路图案。

公开(公告)号：WO2012018215A2

公开(公告)日：2012-02-09

申请号：PCT/KR2011/005657

申请日：2011-08-01

Applicant: 주식회사 엘지화학 ,  민경훈 ,  임예훈 ,  이대연 ,  송재익 ,  박수찬

Inventor： 민경훈 ,  임예훈 ,  이대연 ,  송재익 ,  박수찬

IPC: B24B1/00 ,  B24B7/20 ,  B24B49/00 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B7/00 ,  B24B37/005 ,  B24B37/042 ,  B24B49/00

Abstract: 본 발명에 따른 기판 연마 방법은 대형 기판을 연마하는 공정에서 대형 기판의 중심부와 테두리 부분의 연마량 차이를 최소화할 수 있다.

Abstract translation: 根据本发明，在大型基板的研磨方法中，能够最大限度地减小大基板的中心和边缘的抛光量的差异。