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公开(公告)号：WO2023038197A1
公开(公告)日：2023-03-16
申请号：PCT/KR2021/016719
申请日：2021-11-16
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명의 일 실시 예는 고용량 및 대면적화가 가능한 패터닝 방법을 활용하여 고성능의 마이크로 슈퍼커패시터를 제공한다. 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 맥신 전극 패턴의 전사에 의한 유연 마이크로 슈퍼캐패시터 소자 제조 방법은, 맥신 용액을 제조하는 제1단계; 기판 상에 포토레지스트 마스크를 코팅하는 제2단계; 포토레지스트 마스크 상에 맥신 용액을 코팅하는 제3단계; 기판으로부터 포토레지스트 마스크를 제거하여 기판 상 패턴화된 맥신인 맥신패턴을 형성시키는 제4단계; 맥신패턴이 형성된 기판 상에 합성수지 용액을 코팅한 후 가열하여 필름을 형성시키는 제5단계; 및 기판을 제거하여 필름과 맥신패턴을 분리시켜, 필름과 맥신패턴의 결합체인 유연소자를 형성시키는 제6단계를 포함한다. 도 1
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