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公开(公告)号：WO2019124625A1
公开(公告)日：2019-06-27
申请号：PCT/KR2018/000733
申请日：2018-01-16
IPC: G01N27/12 , H01L21/285 , H01L21/02
Abstract: 본 발명은 맥신을 이용한 케미레지스터 가스센서 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, Ti 3 C 2 T x 맥신 박막을 형성하여 이를 센서 기판상에 전사하는 방식을 통해 제조되는 반응성 및 민감도가 높은 케미레지스터 가스센서 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
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