公开(公告)号：WO2007013604A1

公开(公告)日：2007-02-01

申请号：PCT/JP2006/315012

申请日：2006-07-28

申请人： TDK株式会社 ,  齊田 仁 ,  内田 清志 ,  堀野 賢治 ,  相澤 英里

发明人： 齊田 仁 ,  内田 清志 ,  堀野 賢治 ,  相澤 英里

IPC分类号： H01G4/12 ,  H01G4/33

CPC分类号： H01G4/1227 ,  C23C18/1216 ,  C23C18/1279 ,  H01G4/33 ,  H01L21/02197 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/31691 ,  H01L27/016 ,  H01L28/55

摘要： 　本発明では、チタン酸バリウムストロンチウム薄膜の容量密度の向上及びリーク電流密度の低減を同時に実現することが可能な薄膜コンデンサの製造方法を提供することを目的とする。有機誘電体原料を焼成してチタン酸バリウムストロンチウム薄膜を形成する金属酸化物薄膜形成工程を有する薄膜コンデンサの製造方法において、焼成雰囲気を酸素含有不活性ガス雰囲気として、酸素雰囲気中で焼成したチタン酸バリウムストロンチウム薄膜の容量密度よりも大きい容量密度を有するチタン酸バリウムストロンチウム薄膜を形成する製造方法が提供される。

摘要翻译： 制造薄膜电容器的方法可以同时实现钛酸锶钡薄膜的容量密度的提高和漏电流密度的降低。 提供一种制造薄膜电容器的方法，该方法包括将有机电介质原料焙烧成钛酸钡锶薄膜的金属氧化物薄膜形成步骤，其中在含有氧的惰性气体气氛中进行烧制 从而获得在氧气氛中烧制的钛酸钡锶薄膜的容量密度高的钛酸钡锶薄膜。