公开(公告)号：WO2016082926A1

公开(公告)日：2016-06-02

申请号：PCT/EP2015/002346

申请日：2015-11-23

Applicant: ATTOCUBE SYSTEMS AG

Inventor： DAL SAVIO, Claudio ,  KARRAI, Khaled

IPC: F25D19/00

CPC classification number: F25D19/006 ,  A47B13/08 ,  F25D2201/14 ,  F25D2400/08

Abstract: Tisch (1) mit einer Tischplatte (9), und mit - einer Kältemaschine (20), wobei zumindest ein Abschnitt (10) der Tischplatte (9) mit der Kältemaschine (20) über einen thermischen Kontakt (22) kühlbar ist; - einer abpumpbaren obere Vakuumkammer (50) zur thermischen Isolierung des thermischen Kontakts (22) von einer Umgebung (100) des Tisches (1), die eine der Tischplatte (9) zugewandte Oberseite (26) der Kältemaschine (20) und den zu kühlenden Abschnitt (10) verbindet, mit zumindest einem flexiblen oberen Kammerabschnitt (51); - einer abpumpbaren untere Vakuumkammer (60), die mit einer der 15 Tischplatte (9) abgewandten Unterseite (27) der Kältemaschine (20) verbunden ist, mit zumindest einem flexiblen unteren Kammerabschnitt (61); - einer starren Versteifungsstruktur (30), die jeweils über den flexiblen oberen Kammerabschnitt (51) und über den flexiblen unteren Kammerabschnitt (61) mit der Kältemaschine (20) verbunden ist.

Abstract translation: 表（1）与台面（9），以及 - 一个冰箱（20），其中，至少经由热接触的台面（9）与所述冷冻机（20）的一部分（10）（22）被冷却; - 用于从所述表的环境（100）热接触（22）的热绝缘的abpumpbaren上部真空腔室（50）（1），面向冰箱（20）和上侧（26）的表板（9）中的所述一个被冷却，所述 部分（10），具有至少一个柔性上部室部分（51）; - 连接到abpumpbaren下部真空室（60），背向侧从冰箱（20）的15台面（9）（27）中的一个与至少一个柔性下部腔室部分（61）; - 其通过柔性上腔室部分（51），并通过与冷冻机（20）在柔性下部腔室部分（61）连接的刚性加强结构（30）。

公开(公告)号：WO2016062404A1

公开(公告)日：2016-04-28

申请号：PCT/EP2015/002092

申请日：2015-10-22

Applicant: ATTOCUBE SYSTEMS AG

Inventor： HAFT, Dirk ,  OTTO, Florian ,  DAL SAVIO, Claudio ,  KARRAI, Khaled

IPC: F25D3/10

CPC classification number: G01M11/04 ,  F25B9/14 ,  F25B19/005 ,  F25B21/00 ,  F25B2500/13 ,  F25D3/10 ,  F25D19/00 ,  G01M11/005 ,  G01M11/0214

Abstract: Die Erfindung betrifft kühlbaren optischen Tisch (1) mit einer Tischplatte (9) und mindestens einem Tischbeinen. In einer Tischoberfläche der Tischplatte sind Befestigungsmittel zur Befestigung von Objekten wie optischen Elementen vorgesehen. Die Tischbeine sind mit einer Dämpfungseinrichtung (5) zur Dämpfung von Vibrationen ausgestattet.

Abstract translation: 本发明涉及可冷却的光学平台（1）与表顶部（9）和至少一个表腿。 在工作台板的紧固装置的一个表面上设有用于紧固的对象，例如光学元件。 腿被配备有用于振动的阻尼的阻尼装置（5）。