摘要:
Es wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Schneiden einer Folie, die mindestens eine Schicht aus Metall (insbesondere: Lithium) enthält oder daraus besteht, bereitgestellt. Das Verfahren und die Vorrichtung wieter definieren, dass ein Laser zum Schneiden der Folie und/oder ein Mittel zum Positionieren einer Folie so gesteuert werden, dass gepulste Laserstrahlung, die der Laser in Richtung einer von dem Mittel zum Positionieren einer Folie positionierten Folie strahlt, die mindestens eine Schicht aus Metall der Folie auf eine Art und Weise durchschneidet, dass das Metall der Folie hauptsächlich sublimiert und kaum schmilzt. Mit dem Verfahren und der Vorrichtung ist es möglich, eine Laser-geschnittene Folie bereitzustellen, die keine bzw. nur sehr kleine Wulststrukturen und/oder Metallspritzer aus erstarrtem Metall im Schneidbereich aufweist. Wird die Folie als Bestandteil einer Batterie verwendet, ist deren elektrische Leistungsfähigkeit und Langzeitstabilität höher und das Risiko von Kurzschlüssen in der Batteriezelle geringer.
摘要:
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Karbonisierung oder Graphitisierung von Kohlenstoff enthaltenden Fasern, bei der Fasern durch einen Durchlaufofen geführt werden, in dem eine teilweise Vorkarbonisierung erfolgt. Innerhalb des Durchlaufofens oder unmittelbar im Anschluss an den Durchlaufofen ist mindestens eine eine Heizzone aufweisende Einrichtung angeordnet, durch die die Fasern im Anschluss an die erreichte teilweise Vorkarbonisierung geführt sind. Die mindestens eine Heizzone ist mit mindestens einem Walzenpaar oder mindestens einem Heizelementepaar gebildet, die mit Fasern in elektrisch leitendem Kontakt stehen und infolge des Anschlusses einer Walze oder eines Heizelements an einen Pol einer elektrischen Spannungsquelle und des Anschlusses der jeweils anderen Walze oder des jeweils anderen Heizelements des jeweiligen Walzen- oder Heizelementepaares an den jeweils anderen Pol der elektrischen Spannungsquelle eine elektrische Widerstandsbeheizung der Fasern erfolgt und die Walzeneines Walzenpaars oder die Heizelemente eines Heizelementepaares in einem Abstand zueinander angeordnet sind, die zu einer weiteren Karbonisierung der Fasern führt.
摘要:
Die vorliegende Erfindung beschreibt eine Beschichtungsvorrichtung zur Beschichtung eines Substrates bei Atmosphärenbedingungen sowie ein Verfahren für die Modifizierung von Substratoberflächen bei Atmosphärenbedingungen. Aufgabe der Erfindung ist es, einen Atmosphärendruckdurchlaufreaktor bzw. eine Beschichtungsvorrichtung zur Verfügung zu stellen, der bzw. die so ausgebildet ist, dass eine homogene Schichtabscheidung in einem im Vergleich zum Stand der Technik deutlich erweiterten Parameterfeld möglich ist, und dass eine deutlich erhöhte Flexibilität in Bezug auf die Verwendung für unterschiedliche Beschichtungen oder Schichtsysteme vorliegt. Die Beschichtungsvorrichtung weist eine ortsfest angeordnete Plasmaquelle, einen relativ zur Plasmaquelle in eine erste Bewegungsrichtung (Vorschubrichtung) bewegbaren Substratträger, welcher auf einer der Plasmaquelle zugewandten Seite ausgebildet ist, zum Tragen und zum Transport eines zu beschichtenden Substrats und eine relativ zur Plasmaquelle in einer zweiten Bewegungsrichtung (B2), welche zumindest teilweise nicht der ersten Bewegungsrichtung entspricht, bewegbare Austrittsvorrichtung für das Plasma der Plasmaquelle, wobei die Austrittsvorrichtung mindestens eine Austrittsöffnung auf. Die Austrittsvorrichtung ist so angeordnet und entlang der zweiten Bewegungsrichtung bewegbar, dass über die mindestens eine Austrittsöffnung Plasma aus der Plasmaquelle in Richtung auf die Substratoberfläche richtbar ist.