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公开(公告)号：WO2020020705A1
公开(公告)日：2020-01-30
申请号：PCT/EP2019/069111
申请日：2019-07-16
申请人： Q.ANT GMBH
摘要： Die Erfindung betrifft eine Laserlichtquelle (1), umfassend: mindestens ein nichtlineares optisches Medium (3), insbesondere einen nichtlinearen Kristall, sowie mindestens eine Pump-Laserquelle (2) zum Erzeugen eines Pump-Laserstrahls (5) zur Bildung eines Signal-Strahls (7) und eines Idler-Strahls (8) in dem nichtlinearen optischen Medium (3) durch Parametric-Down-Conversion. Die Laserlichtquelle (1) umfasst mindestens eine Seed-Lichtqueile (4) zur Erzeugung eines Seed-Signal- Strahls (7') und/oder eines Seed-Idler-Strahls mit geringerer Kohärenzlänge als der Kohärenzlänge des Pump-Laserstrahls (5), sowie mindestens eine Überlagerungseinrichtung (16) zur Überlagerung des Seed-Signal-Strahls (7') und/oder des Seed-Idler-Strahls mit dem Pump-Laserstrahl (5) zur gemeinsamen Einkopplung in das nichtlineare optische Medium (3). Die Erfindung betrifft auch einen Laser-Projektor mit einer solchen Laserlichtquelle (1).
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公开(公告)号：WO2022242979A1
公开(公告)日：2022-11-24
申请号：PCT/EP2022/060472
申请日：2022-04-21
申请人： Q.ANT GMBH
摘要： Die Erfindung betrifft eine Sensoranordnung (10I - 10IV) zum Detektieren von Merkmalen von Partikeln (12), bei welcher ein Sender (14) elektromagnetische Strahlung (16) ausstrahlt, die wenigstens teilweise von einem Detektor (18a, 18b) empfangen und in Detektorsignale umgewandelt wird. Ein Messvolumen (20), das zum Durchleiten von Partikeln (12) ausgebildet ist, ist in Richtung der Strahlung (16) aus dem Sender (14) angeordnet, sodass das Messvolumen (20) von dieser Strahlung (16) bestrahlbar ist. Eine Digitalisierungseinheit (22) wandelt die Detektorsignale in digitale Signale um. Die Sensoranordnung (10I - 10IV) weist ferner eine Auswerteeinheit (24) zum Auswerten der digitalen Signale auf. Die Auswerteeinheit (24) ist mit einem trainierten Algorithmus (28) zum maschinellen Lernen ausgestattet, um ausgewählte Merkmale der Partikel (12) durch die Detektorsignale zu bestimmen.
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公开(公告)号：WO2022184540A1
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：PCT/EP2022/054635
申请日：2022-02-24
申请人： Q.ANT GMBH
摘要： The invention relates to a particle sensor (1), comprising: a light source (2) configured to generate a light beam (3) propagating along a light path (4), a beam splitter unit (5) configured to split the light beam (3) into a first partial beam (3a) propagating along a signal path (7a) and a second partial beam (3b) propagating along a reference path (7b), the signal path (7a) passing through a measurement region (9) that is accessible to particles (P), a first photodetector (8a) arranged in the signal path (7) and configured to detect an intensity (I1) of the first partial beam (7a) after propagating through the measurement region (9), and a second photodetector (8b) arranged in the reference path (7b) and configured to detect an intensity (I2) of the second partial beam (3b), wherein the particle sensor (1) is configured to detect, in particular to characterize, particles (P) in the measurement region (9) based on a difference (I1 – I2) between the intensity (I1) of the first partial beam (3a) and the intensity (I2) of the second partial beam (3b). The invention also relates to a device comprising such a particle sensor (1) as well as to a corresponding method for detecting, in particular for characterizing, particles (P).
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公开(公告)号：WO2023274676A1
公开(公告)日：2023-01-05
申请号：PCT/EP2022/065637
申请日：2022-06-09
申请人： Q.ANT GMBH
IPC分类号： G01R33/26 , G01R33/032 , G01N24/00 , G01N24/10 , G01R33/60 , G01N24/006
摘要： Die Erfindung betrifft ein Magnetfeldgradiometer (1) zur Bestimmung eines Magnetfeldgradienten (GB), umfassend: mindestens eine Anregungslichtquelle (2) zur Emission von Anregungslicht (AL), zwei räumlich beabstandete Messbereiche (3) zur Magnetfeld-Messung, in denen Farbzentren in Diamant, bevorzugt NV-Zentren (4), angeordnet sind, die bei einer Anregung mit dem Anregungslicht (AL) Fluoreszenzlicht (FL) emittieren, mindestens einem Mikrowellenemitter zur Beaufschlagung der räumlich beabstandeten Messbereiche (3) mit mindestens einem Mikrowellenfeld, zwei Detektoren (5) zur Detektion des Fluoreszenzlichts (FL) aus den beiden Messbereichen (3) und eine Auswerteeinrichtung (6) zur Bestimmung des Magnetfeldgradienten (GB) anhand des von den Detektoren (5) detektierten Fluoreszenzlichts (FL). Die Messbereiche (3) sind als bevorzugt freistehende Messwellenleiter (3) eines gemeinsamen Diamant-Kristalls (7) ausgebildet, der für die Messwellenleiter (3) als Substrat dient. Die Erfindung betrifft auch ein Magnetfeldgradiometer-Array, ein dreidimensionales Magnetfeldgradiometer-Array und einen integrierten optischen Schaltkreis zum Einsatz in einem Magnetfeldgradiometer, insbesondere in einem Magnetfeldgradiometer (1), das wie weiter oben beschrieben ausgebildet ist.
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公开(公告)号：WO2021058325A1
公开(公告)日：2021-04-01
申请号：PCT/EP2020/075716
申请日：2020-09-15
申请人： Q.ANT GMBH
IPC分类号： B23K26/0622 , B23K26/066 , B23K26/142 , B23K26/082 , B23K26/073 , B23K103/00
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen mindestens einer optisch nutzbaren Mikrostruktur, insbesondere mindestens einer Wellenleiterstruktur (8a-c), an einem optischen Kristall (2), umfassend: Einstrahlen eines gepulsten Laserstrahls (4) auf eine Oberfläche (2a) des optischen Kristalls (2), sowie Bewegen des gepulsten Laserstrahls (4) und des optischen Kristalls (2) relativ zueinander entlang einer Vorschubrichtung (12) zum Abtragen von Material des optischen Kristalls (2) entlang mindestens einer Ablationsbahn (13) zur Ausbildung der optisch nutzbaren Mikrostruktur, insbesondere der Wellenleiterstruktur (8a-c). Der gepulste Laserstrahl (4) wird mit Pulsdauern (τ) von weniger als 5 ps, bevorzugt von weniger als 850 fs, besonders bevorzugt von weniger als 500 fs, insbesondere von weniger als 300 fs und mit einer Wellenlänge (λL) von weniger als 570 nm, bevorzugt von weniger als 380 nm, auf die Oberfläche (2a) des optischen Kristalls (2) eingestrahlt.
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公开(公告)号：WO2020259889A1
公开(公告)日：2020-12-30
申请号：PCT/EP2020/060392
申请日：2020-04-14
申请人： Q.ANT GMBH
摘要： Die Erfindung betrifft eine Sensoranordnung (1) zur Charakterisierung von Partikeln (P), insbesondere zur Bestimmung einer Partikel-Position (P x , P y ), einer Partikel-Geschwindigkeit (v x , v y ), einer Partikel-Beschleunigung (a x , a y ) und/oder einer Partikel-Größe (D), umfassend: einen Sender (2) mit: einer Laserquelle (5) zur Erzeugung eines Laserstrahls (3), einer Moden-Konversionseinrichtung (7) zur Erzeugung einer Feldverteilung des Laserstrahls (3), die an jeder Position (X, Y) eine unterschiedliche Kombination einer lokalen Intensität (l(X, Y)) und einer lokalen Polarisationsrichtung (R(X, Y)) des Laserstrahls (3) aufweist, eine Fokussieroptik (8) zur Fokussierung der Feldverteilung des Laserstrahls (3) auf mindestens einen Messbereich (10) in einer Fokusebene (9), der von den Partikeln (P) durchlaufen wird, einen Empfänger (4), mit: einer Analysator-Optik (14) zur Ermittlung von polarisationsabhängigen Intensitätssignalen (I 1 , I 2 , I 3 , I 4 ) der Feldverteilung des Laserstrahls (3) in dem mindestens einen Messbereich (10), sowie mit einer Auswerteeinrichtung (20) zur Charakterisierung der Partikel (P), insbesondere zur Bestimmung der Partikel-Position (P x , P y ), der Partikel-Geschwindigkeit (v x , v y ), der Partikel-Beschleunigung (a x , a y ) und/oder der Partikel-Größe (D), anhand der polarisationsabhängigen Intensitätssignale (I 1 , I 2 , I 3 , I 4 ). Die Erfindung betrifft auch eine optische Anordnung, insbesondere für eine EUV- Strahlungserzeugungsvorrichtung, mit einer solchen Sensoranordnung (1).
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7.发明申请
公开(公告)号：WO2022129158A1
公开(公告)日：2022-06-23
申请号：PCT/EP2021/085868
申请日：2021-12-15
申请人： Q.ANT GMBH
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Kalibrieren eines Partikelsensors (2), umfassend: Fokussieren eines Lichtstrahls, insbesondere eines Laserstrahls (8), auf eine Kalibrationsebene (KE) zur Erzeugung einer Kalibrationsintensitätsverteilung (10), insbesondere eines Kalibrationsfokus, in der Kalibrationsebene (KE), wobei in der Kalibrationsebene (KE) eine Kalibrationsscheibe (1) angeordnet ist, an der Kontrastbereiche (2) zur Modulation der Intensität (I) des Lichtstrahls, insbesondere des Laserstrahls (8), gebildet sind, Bewegen der Kalibrationsscheibe (1) und/oder des Kalibrationsfokus (10) in der Kalibrationsebene (KE), Erfassen mindestens eines Intensitätssignals (IT; IR) des Lichtstrahls, insbesondere des Laserstrahls (8), nach dem Durchlaufen der Kalibrationsebene (KE), sowie Kalibrieren des Partikelsensors (2) durch Auswerten des mindestens einen Intensitätssignals (IT; IR). Die Erfindung betrifft auch einen Partikelsensor (2) zur Durchführung des Verfahrens sowie eine Vorrichtung mit mindestens einem solchen Partikelsensor (2).
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公开(公告)号：WO2022096360A1
公开(公告)日：2022-05-12
申请号：PCT/EP2021/079957
申请日：2021-10-28
申请人： Q.ANT GMBH
发明人： HENGESBACH, Stefan , FOERTSCH, Michael , VEST, Gwenaelle , HOPPE, Louise , ERMANTRAUT, Eugen , KENTLER, Benjamin
IPC分类号： B23K26/00 , B23K26/0622 , B23K26/06 , B23K26/073 , B23K26/08 , B23K26/12 , B23K26/364
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Spalten eines Kristalls (2), umfassend: Einstrahlen eines gepulsten Laserstrahls auf den Kristall (2) zum Modifizieren, insbesondere zum Abtragen, von Material des Kristalls (2). Beim Einstrahlen des gepulsten Laserstrahls wird das Material des Kristalls (2) bis zu einer Eindringtiefe modifiziert, die mindestens 30%, bevorzugt mindestens 40% einer Dicke des Kristalls (2) entspricht, wobei durch das Einstrahlen des gepulsten Laserstrahls der Kristall (2) entlang einer vorgegebenen Bruchkante gespalten wird.
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9.发明申请
公开(公告)号：WO2022053455A1
公开(公告)日：2022-03-17
申请号：PCT/EP2021/074568
申请日：2021-09-07
申请人： Q.ANT GMBH
IPC分类号： B23K26/0622 , B23K26/06 , B23K26/244 , B23K26/324 , B29D11/00 , B23K103/00 , B23K103/18
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verbinden eines optischen Kristalls (2) mit einem Substrat (3), umfassend: Einstrahlen eines gepulsten Laserstrahls (5) durch den optischen Kristall (2) oder durch das Substrat (3) hindurch auf eine Oberfläche (7), die zwischen dem optischen Kristall (2) und dem Substrat (3) gebildet ist, zum stoffschlüssigen Verbinden des optischen Kristalls (2) mit dem Substrat (3) durch Ausbilden einer Schmelzzone (9). Zwischen dem optischen Kristall (2) und dem Substrat (3) ist eine Zwischenschicht (8) gebildet und der gepulste Laserstrahl (5) wird zum Ausbilden der Schmelzzone (9) auf die Oberfläche (7) der Zwischenschicht (8) eingestrahlt. Die Erfindung betrifft auch ein Bauelement, das durch das Verfahren hergestellt ist.
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