公开(公告)号：WO2005033561A2

公开(公告)日：2005-04-14

申请号：PCT/US2004/032108

申请日：2004-09-29

Applicant: REDWOOD MICROSYSTEMS INC.

Inventor： HENNING, Albert, K. ,  SELSER, Michael ,  COZAD, Bradford, A.

IPC: F16K

CPC classification number: F16K99/0001 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0009 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0028 ,  F16K99/0036 ,  F16K99/0044 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0076 ,  Y10T137/86718 ,  Y10T137/86734

Abstract: A method for achieving high flow in valves with small actuation distance is described. A detailed description for a silicon microvalve is provided. An algorithm is described for designing optimized valves.

Abstract translation: 描述了一种用于在具有小致动距离的阀中实现高流量的方法。 提供硅微型阀的详细描述。 描述了一种用于设计优化阀的算法。

公开(公告)号：WO2003009319A1

公开(公告)日：2003-01-30

申请号：PCT/US2002/022792

申请日：2002-07-17

Applicant: REDWOOD MICROSYSTEMS, INC.

Inventor： ZIAS, Art ,  MAUGER, Phil ,  CAHILL, Sean ,  NYSTROM, Norm ,  HENNING, Albert, K.

IPC: H01G5/00

CPC classification number: G01L1/148 ,  G01L9/0073

Abstract: A force or pressure transducer (200) is disclosed. In one embodiment, the transducer (200) has a substrate (230), a dielectric material (220), disposed on the substrate (230), a spacing member (240), and a resilient element (210) disposed on the dielectric material (220) and the spacing member (240). A portion of the resilient element (210) is separated from the dielectric material (220), and a portion of the resilient element (210) is in contact with the dielectric material (220). The contact area between the resilient element (210) and the dielectric material (220) varies in response to movement of the resilient element (210). Changes in the contact area alter the capacitance of the transducer (200), which can be measured by circuit means.

Abstract translation: 公开了一种力或压力传感器（200）。 在一个实施例中，换能器（200）具有设置在基底（230）上的基底（230），电介质材料（220），间隔构件（240）和设置在电介质材料上的弹性元件 （220）和间隔构件（240）。 弹性元件（210）的一部分与电介质材料（220）分离，并且弹性元件（210）的一部分与电介质材料（220）接触。 弹性元件（210）和电介质材料（220）之间的接触面积响应弹性元件（210）的移动而变化。 接触区域的变化会改变传感器（200）的电容，这可以通过电路手段来测量。