公开(公告)号：WO2018197823A1

公开(公告)日：2018-11-01

申请号：PCT/FR2018/051077

申请日：2018-04-27

Applicant: SAINT-GOBAIN COATING SOLUTIONS

Inventor： MAGDENKO-SAVOUREY, Liubov ,  BILLIERES, Dominique ,  MATEUS, Crisalia ,  MARLIN, Samuel

IPC: C23C14/00 ,  C23C14/06 ,  C23C14/34 ,  H01J37/34 ,  C03C17/00

Abstract: Cible de pulvérisation cathodique constituée d'une part d'un oxyde d'au moins un élément choisi dans le groupe du titane, du silicium, du zirconium et d'autre part de particules d'un métal compris dans le groupe constitué par l'argent, l'or, le platine, le cuivre et le nickel ou des particules d'un alliage constitué d'au moins deux de ces métaux, le rapport atomique M/Me dans ladite cible étant inférieur à 1,5, M représentant l'ensemble des atomes des éléments dudit groupe du titane, du silicium, du zirconium présents dans ladite couche et Me représentant l'ensemble des atomes des métaux du groupe constitué par l'argent, l'or, le platine, le cuivre et le nickel présents dans ladite couche.