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公开(公告)号：WO2022233474A1
公开(公告)日：2022-11-10
申请号：PCT/EP2022/055475
申请日：2022-03-03
Applicant: SINGULUS TECHNOLOGIES AG
Inventor： BRECHTL, Giani , RÜTH, Edgar , RÜBSAM, Felix , HASENSTAB, Kathrin
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ganz allgemein die Überwachung einer Beflammunsgsvorrichtung und insbesondere eine Substratbehandlungsanlage mit einer Beflammunsgsvorrichtung sowie ersten und zweiten Substratüberwachungseinheiten.
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