公开(公告)号：WO2023012210A1

公开(公告)日：2023-02-09

申请号：PCT/EP2022/071799

申请日：2022-08-03

申请人： TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH

发明人： FLAMM, Daniel ,  KAISER, Myriam ,  KLEINER, Jonas

IPC分类号： C03B33/02 ,  B23K26/067 ,  B23K26/53

摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Laserbearbeitung eines Werkstücks (104), welches ein für die Laserbearbeitung transparentes Material (102) aufweist, bei dem ein Eingangslaserstrahl (108) mittels eines Strahlteilungselements (106) in eine Mehrzahl von Teilstrahlen (116) aufgeteilt wird, wobei die Aufteilung des Eingangslaserstrahls (108) mittels desStrahlteilungselements (106) durch Phasenaufprägung auf einen Strahlquerschnitt (112) des Eingangslaserstrahls (108) erfolgt, aus dem Strahlteilungselement (106) ausgekoppelte Teilstrahlen (116) mittels einer Fokussieroptik (118) fokussiert werden, durch Fokussierung der Teilstrahlen (116) mehrere Fokuselemente (120) ausgebildet werden, und bei dem das Material (102) des Werkstücks (104) zur Laserbearbeitung mit zumindest einer Teilmenge der ausgebildeten Fokuselemente (120) beaufschlagt wird. Die Phasenaufprägung erfolgt mittels des Strahlteilungselements (106) derart, dass mindestens zwei der ausgebildeten Fokuselemente (120) eine unterschiedliche Intensität (I) aufweisen.

公开(公告)号：WO2022053275A1

公开(公告)日：2022-03-17

申请号：PCT/EP2021/072964

申请日：2021-08-18

申请人： TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH

发明人： KLEINER, Jonas ,  FLAMM, Daniel ,  SCHÄFER, Marcel ,  KAISER, Myriam ,  JENNE, Michael

IPC分类号： B23K26/0622 ,  B23K26/53 ,  C03B33/02 ,  B23K26/06 ,  B23K26/062 ,  B23K26/073 ,  C03B33/04

摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft Verfahren zum Trennen von Dünnstglas (1), wobei mittels ultrakurzer Laserpulse eines Ultrakurzpulslasers entlang einer Trennlinie (2) Materialmodifikationen (3) in das Dünnstglas (1) eingebracht werden und das Dünnstglas (1) dann in einem Trennschritt entlang der Trennlinie (2) getrennt wird, wobei die ultrakurzen Laserpulse so in das Dünnstglas (1) fokussiert werden, dass sich die resultierende und in Strahlrichtung elongierte Fokuszone (46) über die gesamte Dicke (D) des Dünnstglases (1) erstreckt und die ultrakurzen Laserpulse einen nicht-radialsymmetrischen Strahlquerschnitt (4) senkrecht zur Strahlausbreitung aufweisen.

公开(公告)号：WO2022053273A1

公开(公告)日：2022-03-17

申请号：PCT/EP2021/072949

申请日：2021-08-18

申请人： TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH

发明人： KLEINER, Jonas ,  FLAMM, Daniel ,  RAVE, Henning

IPC分类号： B23K26/08 ,  B23K26/067 ,  B23K26/06 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/364 ,  B23K103/00

摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Trennen eines Werkstücks (1) entlang einer Trennlinie (10) mittels Laserpulsen (20) eines Laserstrahls (2), bevorzugt zum Schneiden von Silizium mittels ultrakurzer Pulse eines Ultrakurzpulslasers, besonders bevorzugt zum Heraustrennen eines Chips aus einem Silizium-Wafer, wobei der Laserstrahl (2) mit einer Strahlteileroptik (62) in mehrere Teillaserstrahlen (26) aufgespalten wird und jeder der Teillaserstrahlen (26) so mit einer Fokussieroptik (64) auf die Oberfläche (12) und/oder in das Volumen des Werkstücks (1) fokussiert wird, dass die Teillaserstrahlen (26) nebeneinander und voneinander beabstandet entlang der Trennlinie (10) angeordnet sind, wobei durch das Einbringen der Laserpulse (20) in das Werkstück (1) entlang der Trennlinie (10) ein Materialabtrag in dem Werkstück (1) durchgeführt wird, und wobei die Teillaserstrahlen (26) wiederholt entlang der Trennlinie (10) von ihrer Ausgangsposition um einen Auslenkungsbetrag wegbewegt werden und anschließend entlang der Trennlinie (10) in die Ausgangsposition zurückbewegt werden, wobei der Auslenkungsbetrag kleiner oder gleich dem Abstand (L) zweier benachbarter Teillaserstrahlen (26) ist.

公开(公告)号：WO2022033958A1

公开(公告)日：2022-02-17

申请号：PCT/EP2021/071896

申请日：2021-08-05

申请人： TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH

发明人： FLAMM, Daniel ,  KLEINER, Jonas

IPC分类号： B23K26/0622 ,  B23K26/06 ,  B23K26/53 ,  C03B33/02 ,  G02B27/00 ,  B23K101/06

摘要： Ein Verfahren zur Materialbearbeitung eines Werkstücks (9) mit einem Laserstrahl (3) wird offenbart, wobei das Werkstück (9) ein weitgehend für den Laserstrahl (3) transparentes Material mit einer gekrümmten Oberfläche (9A) aufweist. Das Verfahren umfasst die Schritte: Strahlformen (Schritt 101) des Laserstrahls (3) zum Ausbilden einer langgezogenen Fokuszone (7) in dem Material des Werkstücks (9), wobei das Strahlformen mit einer Anordnung von diffraktiven und/oder refraktiven Optiken durchgeführt wird und umfasst: - eine fokusbildende Strahlformung (Schritt 101A), die ein Einlaufen von Strahlanteilen (3A) unter einem Einlaufwinkel (δ') auf eine Strahlachse (5) des Laserstrahls (3) für eine Ausbildung der langgezogenen Fokuszone (7) entlang der Strahlachse (5) im Werkstück (9) durch Interferenz bewirkt, und - eine phasenkorrigierende Strahlformung (Schritt 101B), die einer Beeinflussung der Interferenz durch einen Eintritt des Laserstrahls (3) in das Werkstück (9) entgegenwirkt, und20 Einstellen (Schritt 105) von Strahlparameter des Laserstrahls (3) derart, dass das Material des Werkstücks (9) in der langgezogenen Fokuszone (7) modifiziert wird.

公开(公告)号：WO2021069362A1

公开(公告)日：2021-04-15

申请号：PCT/EP2020/077821

申请日：2020-10-05

申请人： TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH

发明人： FLAMM, Daniel ,  KLEINER, Jonas ,  HELLSTERN, Julian

IPC分类号： B23K26/064 ,  B23K26/06 ,  B23K26/70 ,  G02B27/00 ,  B23K103/00

摘要： Eine Vorrichtung (101) wird für eine Justage einer Bearbeitungsoptik (3) einer Laserbearbeitungsmaschine (1) offenbart, wobei die Bearbeitungsoptik (3) dazu ausgebildet ist, einen Laserstrahl (5) in der Laserbearbeitungsmaschine (1) derart zu formen und entlang einer Einfallsstrahlenachse (21) zu fokussieren, dass ein Bearbeitungslaserstrahl (5A) eine voreingestellte Bessel-Strahl-Fokuszone (7) in einem zu bearbeitenden Werkstück (9) ausbilden kann. Die Vorrichtung (101) umfasst einen Eintrittsbereich (104) zum Aufnehmen des Bearbeitungslaserstrahls (5A), einem Fokuszonen-Ausbildungsbereich (106), der dazu vorgesehen ist, eine Ausbildung einer Mess-Fokuszone (107) durch den aufgenommenen Bearbeitungslaserstrahl (5A) entlang einer Soll-Achse (110) zu ermöglichen, und eine Abbildungseinheit (111), die eine Linse (113) und eine Detektoroberfläche (115A) aufweist, wobei die Linse (113) Messlaserstrahlung (105), die nach Ausbildung der Mess-Fokuszone (107) den Fokuszonen-Ausbildungsbereich (106) verlässt, entlang einer durch die Soll-Achse (110) vorgegebenen Abbildungsachse (117) auf die Detektoroberfläche (115A) abbildet.

公开(公告)号：WO2019243043A1

公开(公告)日：2019-12-26

申请号：PCT/EP2019/064582

申请日：2019-06-05

申请人： TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH

发明人： BECK, Torsten ,  FLAMM, Daniel ,  HEIMES, Andreas ,  HELLSTERN, Julian ,  LINGEL, Christian ,  MARSCHALL, Felix ,  THIERFELDER, Silke ,  TILLKORN, Christoph

IPC分类号： G02B27/09 ,  B23K26/06 ,  B23K26/073

摘要： Die Erfindung betrifft eine optische Anordnung (16) zur Überführung von Laserstrahlen (14a – 14f) wenigstens zweier Laserlichtquellen (12a – 12f) in einen Kombinationsstrahl (18), umfassend eine Strahlführungsoptik (20), welche derart ausgebildet ist, dass wenigstens zwei getrennte optische Kanäle (22a – 22c) für die Laserstrahlen (14a –14c) bereitgestellt werden, wobei jeder optische Kanal (22a – 22c) ein Abschlussoptikmittel (36a – 36c) zum Austreten eines Kanalausgangsstrahls (38a – 38c) des jeweiligen optischen Kanals (22a – 22c) aufweist, wobei wenigstens ein Umlenkkörper (42a – 42c) vorgesehen ist, der nur einem optischen Kanal (22a – 22c) zugeordnet ist, wobei der Umlenkkörper (42a – 42c) derart ausgebildet ist, dass ausschließlich der Kanalausgangsstrahl (38a – 38c) des zugeordneten optischen Kanals (22a – 22c) erfasst wird und der erfasste Kanalausgangsstrahl (38a – 38c) in Richtung eines Fokusbereichs (44) umgelenkt wird.

公开(公告)号：WO2022253606A1

公开(公告)日：2022-12-08

申请号：PCT/EP2022/063847

申请日：2022-05-23

申请人： TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH

发明人： KLEINER, Jonas ,  HESSE, Tim ,  FLAMM, Daniel

IPC分类号： B23K26/06 ,  B23K26/073 ,  B23K26/50 ,  B23K103/00

摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Laserbearbeitung eines Werkstücks (104) mittels einer Fokuszone (106), wobei das Werkstück (104) ein transparentes Material (102) aufweist, umfassend eine Strahlformungseinrichtung (110; 110') zur Ausbildung der Fokuszone (106) aus einem Eingangslaserstrahl (112), wobei die Fokuszone (106) bezüglich einer Längsachse (108) länglich ausgebildet ist und wobei die Fokuszone (106) senkrecht zur Längsachse (108) einen asymmetrischen Querschnitt (140) mit einer Vorzugsrichtung (146) aufweist, eine Stelleinrichtung (184) zur Veränderung der Vorzugsrichtung (146) während der Laserbearbeitung des Werkstücks (104), und eine Steuerungseinrichtung (186) zur Ansteuerung der Stelleinrichtung (184) auf Grundlage einer vorgegebenen Zuordnungsvorschrift, um die Vorzugsrichtung (146) während der Laserbearbeitung des Werkstücks (104) zu steuern und/oder zu regeln.

公开(公告)号：WO2022167254A1

公开(公告)日：2022-08-11

申请号：PCT/EP2022/051534

申请日：2022-01-25

申请人： TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH

发明人： KAISER, Myriam ,  FLAMM, Daniel ,  KLEINER, Jonas

IPC分类号： B23K26/06 ,  B23K26/067 ,  B23K26/359 ,  B23K26/53

摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Laserbearbeitung eines Werkstücks (104), welches ein für die Laserbearbeitung transparentes Material (102) aufweist, umfassend eine erste Strahlformungseinrichtung (106) mit einem Strahlteilungselement (112) zur Aufteilung eines in die erste Strahlformungseinrichtung (106) eingekoppelten ersten Eingangsstrahls (108) in eine Mehrzahl von Teilstrahlen (114), und eine der ersten Strahlformungseinrichtung (106) zugeordnete Fokussieroptik (116) zur Abbildung von aus der ersten Strahlformungseinrichtung (106) ausgekoppelten Teilstrahlen (114) in mindestens eine Fokuszone (122), wobei die Aufteilung des ersten Eingangsstrahls (108) mittels dem Strahlteilungselement (112) durch Phasenaufprägung auf den ersten Eingangsstrahl (108) erfolgt, die Teilstrahlen (114) zur Ausbildung der mindestens einen Fokuszone (122) in unterschiedliche Teilbereiche (120) der mindestens einen Fokuszone (122) fokussiert werden, zur Laserbearbeitung des Werkstücks (104) die mindestens eine Fokuszone (122) mittels der Fokussieroptik (116) unter mindestens einem Anstellwinkel (α) zu einer Außenseite (144; 146) des Werkstücks (104) in das Material (102) eingebracht wird und wobei durch Beaufschlagung des Materials (102) mittels der mindestens einen Fokuszone (122) Materialmodifikationen (156) in dem Material (102) erzeugt werden, welche mit einer Rissbildung des Materials (102) assoziiert sind.

公开(公告)号：WO2022122238A1

公开(公告)日：2022-06-16

申请号：PCT/EP2021/079558

申请日：2021-10-25

申请人： TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH [DE]/[DE]

发明人： FLAMM, Daniel ,  KLEINER, Jonas

IPC分类号： B23K26/064 ,  B23K26/53 ,  G02B27/09 ,  C03B33/02

摘要： Es wird ein Verfahren zur Materialbearbeitung eines Werkstücks (9) mit einem quasi-nichtbeugenden Laserstrahl (5) offenbart, wobei das Werkstück (3) ein für den quasi-nichtbeugenden Laserstrahl (5) teiltransparentes Material aufweist, das eine lineare Absorption aufweist. Das Verfahren umfasst die Schritte: Einstrahlen (Schritt 103) eines gepulsten Rohlaserstrahls (5') in ein optisches Strahlformungssystem (13) zur Ausbildung eines quasi-nichtbeugenden Laserstrahls (5) mit einer sich in einer Längsrichtung (z) erstreckenden Fokuszone (7) für die Materialbearbeitung des Werkstücks (3), wobei mit dem optischen Strahlformungssystem (13) eine Phasenaufprägung auf einen Strahlquerschnitt des Rohlaserstrahls (5') zur Ausbildung von phasenaufgeprägter Laserstrahlung (5_PH) vorgenommen wird, und Fokussieren (Schritt 107) der phasenaufgeprägten Laserstrahlung (5_PH) in das teil- transparente Material des Werkstücks (3), sodass der quasi-nichtbeugende Laserstrahl (5) ausgebildet wird und die Fokuszone (7) eine entlang der Längsrichtung (z) einstellbare Intensitätsverteilung aufweist, wobei die Phasenaufprägung derart eingestellt ist, dass beim Fokussieren der phasenaufgeprägten Laserstrahlung in das teiltransparente Material des Werkstücks (3) eine resultierende Intensitätsverteilung (BG_2h(+)) des quasi-nichtbeugenden Laserstrahls (5) in der Fokuszone (7) in der Längsrichtung (z) zumindest näherungsweise konstant ist.

公开(公告)号：WO2021191218A1

公开(公告)日：2021-09-30

申请号：PCT/EP2021/057460

申请日：2021-03-23

申请人： TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH

发明人： KAISER, Myriam ,  SCHÄFER, Marcel ,  FLAMM, Daniel

IPC分类号： B23K26/00 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/364 ,  B23K26/402 ,  B23K26/53 ,  B23K26/55 ,  B23K26/70 ,  B23K103/00 ,  B23K2103/52 ,  B23K2103/54 ,  B23K26/0006 ,  B23K26/0624 ,  B23K26/702

摘要： Diese Anmeldung betrifft ein Verfahren zum Entfernen von Material aus einem abzutragenden Volumen (7) eines Werkstücks (9) umfasst: einen Laserbearbeitungsschritt (3), in dem mit einem gepulsten Laserstrahl (13) in einem Abtastvorgang des abzutragenden Volumens (7) mehrere Modifikationslinien (15) nebeneinander zweidimensional-versetzt in das Material (9) des abzutragenden Volumens (7) eingeschrieben werden, wobei sich aufgrund des Laserbearbeitungsschritts (3) zwischen Modifikationslinien (15) Risse (19) im Material ausbilden, die sich in Richtung der Modifikationslinien (15) im abzutragenden Volumen (7) erstrecken und zusammen mit den Modifikationslinien (15) das abzutragende Volumen (7) in nicht-modifizierte Bereiche (BB) untergliedern; und einen Nass-Ätz-Schritt (5), in dem das abzutragende Volumen (7) in ein Ultraschall-unterstütztes nass-chemisches Ätzbad (21) eingebracht wird.