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公开(公告)号：WO2022053471A1
公开(公告)日：2022-03-17
申请号：PCT/EP2021/074628
申请日：2021-09-08
Applicant: WÜRTH ELEKTRONIK GMBH & CO. KG
Inventor： GIMMER, Andreas
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Verwendung einer kryogenen Flüssigkeit (103). Die Verwendung umfasst ein tröpfchenweises digital gesteuertes Aufbringen der kryogenen Flüssigkeit (103) auf eine Oberfläche (112, 712) zur gezielten Beeinflussung einer Temperatur der Oberfläche (112, 712) und/oder eines unter der Oberfläche liegenden Bereichs, insbesondere einer Schicht oder eines Substrats.
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