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1.发明申请
公开(公告)号：WO2022263086A1
公开(公告)日：2022-12-22
申请号：PCT/EP2022/063391
申请日：2022-05-18
Applicant: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
Inventor： BENISTAND-HECTOR, Cyril , GRASER, Martin
Abstract: Installation (1) de pompage de fluide cryogénique comprenant une enceinte (13) étanche destinée à contenir un bain de fluide cryogénique, l'enceinte (13) abritant une chambre (3) de compression communiquant avec le bain et un piston (5) mobile pour assurer la compression du fluide dans la chambre (3) de compression, le piston (5) étant monté à une première extrémité d'une tige (50), l'appareil (1) comprenant un mécanisme (21) d'entraînement d'une deuxième extrémité de la tige (50) dans un mouvement d'allers-retours selon une direction (A) longitudinale de mouvement, le mécanisme (21) d'entraînement comprenant un moteur (121) muni d'un arbre (211) tournant et un système (212) de transformation mécanique convertissant le mouvement de rotation de l'arbre (211) tournant en un mouvement de translation, en configuration de fonctionnement de l'installation (1), la direction (A) longitudinale de mouvement de la tige (50) du piston étant verticale, le moteur (21) étant fixé rigidement à un bâti (6) supérieur, l'arbre (211) tournant étant accouplé au système (212) de transformation mécanique via un système de liaison tel qu'une liaison rigide ou un cardan, une première extrémité supérieure de l'enceinte (13) étant reliée au système (212) de transformation mécanique, une seconde extrémité inférieure de l'enceinte (13) étant en appui sur un support assurant un maintien et une reprise d'efforts transmis par le moteur (121) via l'arbre
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公开(公告)号：WO2022112903A1
公开(公告)日：2022-06-02
申请号：PCT/IB2021/060663
申请日：2021-11-17
Applicant: EDWARDS VACUUM LLC
Inventor： CASELLO, John , COLLINS, Mark Steven , YOUNG, Charles Hamilton
Abstract: A method of monitoring the performance of a cryopump (5), the circuitry (14) for monitoring the performance and the cryopump (5) are disclosed. The method comprises: following completion of a regeneration cycle controlling said cryopump (5) to perform a predetermined test routine for testing a performance of said cryopump under predetermined conditions; monitoring said cryopump during said predetermined test routine to collect data indicative of said performance of said cryopump (5); storing data collected during said monitoring.
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公开(公告)号：WO2021004619A1
公开(公告)日：2021-01-14
申请号：PCT/EP2019/068269
申请日：2019-07-08
Applicant: APPLIED MATERIALS, INC. , GEBELE, Thomas , ZANG, Sebastian Gunther , HENRICH, Jürgen
Inventor： GEBELE, Thomas , ZANG, Sebastian Gunther , HENRICH, Jürgen
Abstract: A vacuum system for volume pumping a plurality of vacuum areas is described. The vacuum system includes a first vacuum manifold extending along the plurality of vacuum areas and a second vacuum manifold extending along the plurality of vacuum areas. A first plurality of valves connecting the first vacuum manifold to the plurality of vacuum areas is provided, each valve of the first plurality of valves corresponding to a vacuum area of the plurality of vacuum areas. A second plurality of valves connecting the second vacuum manifold to the plurality of vacuum areas is provided, each valve of the second plurality of valves corresponding to the vacuum area of the plurality of vacuum areas. The vacuum system further includes a first pump stack assembly including one or more first pump stacks connected to the first vacuum manifold with a first connection pipe via a first connection valve and a second pump stack assembly including one or more second pump stacks connected to a second vacuum manifold with the second connection pipe via a second connection valve.
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公开(公告)号：WO2020049916A1
公开(公告)日：2020-03-12
申请号：PCT/JP2019/030302
申请日：2019-08-01
Applicant: 住友重機械工業株式会社
Inventor： ▲高▼橋 走
IPC: F04B37/08
Abstract: クライオポンプ（１０）は、吸気口（１２）を通じて被排気気体が直線的に到達可能な露出領域（６８）と、吸気口（１２）を通じて被排気気体が直線的に到達不能な非露出領域（６９）と、を備える第２段クライオパネルアセンブリ（２０）を備える。非露出領域（６９）は、非凝縮性気体を吸着可能な吸着領域（６６）を有し、露出領域（６８）は、取り外し可能な保護面（７６）で被覆されている。取り外し可能な保護面（７６）は、露出領域（６８）に剥離可能に接着された樹脂製または金属製の保護層によって提供されてもよい。
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公开(公告)号：WO2019208336A1
公开(公告)日：2019-10-31
申请号：PCT/JP2019/016360
申请日：2019-04-16
Applicant: 住友重機械工業株式会社
Inventor： 望月 健生
Abstract: クライオポンプ１０は、クライオパネル６０と、クライオパネル６０に設置され、非凝縮性気体を吸着可能な吸着領域６４と、を備える。吸着領域６４は、シリカゲルを主成分として含有する不燃性吸着材を備える。クライオポンプ１０の再生方法は、クライオポンプ１０にパージガスを供給することと、クライオパネル温度が水の三重点温度を超える前にクライオポンプ１０へのパージガスの供給を停止することと、パージガスの供給停止と同時に、または供給停止後に、クライオポンプ１０の真空排気を開始することと、クライオポンプ１０内に凝縮された氷を昇華によって気化することと、クライオポンプ１０内の圧力および圧力上昇率の少なくとも一方に基づいてクライオポンプ１０の真空排気を停止することと、を備える。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2018235661A1
公开(公告)日：2018-12-27
申请号：PCT/JP2018/022241
申请日：2018-06-11
Applicant: 住友重機械工業株式会社
Inventor： ▲高▼橋 走
Abstract: クライオポンプ１０は、１段クライオパネル１８と、２段クライオパネル１９と、１段クライオパネル１８および２段クライオパネル１９に熱的に結合され、１段クライオパネル１８を１段冷却温度に冷却し、２段クライオパネル１９を１段冷却温度より低い２段冷却温度に冷却する冷凍機１６と、１段冷却温度を１段目標温度に制御する１段温度制御を実行するよう構成された制御装置１００と、を備える。制御装置１００は、１段温度制御の実行中に２段冷却温度の上昇を検知して冷凍機１６の冷凍能力を増加させるよう構成されている。
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公开(公告)号：WO2018162358A1
公开(公告)日：2018-09-13
申请号：PCT/EP2018/055210
申请日：2018-03-02
Applicant: ASML NETHERLANDS B.V. , HERMES MICROVISION, INC.
Inventor： LI, Fangfu
Abstract: Systems and methods are provided for evacuating a chamber (101). The evacuation system comprises a cooler (320) coupled with the chamber and a controller (350). The controller is configured to determine whether a property of the cooler or the chamber satisfies one or more conditions. Based on the determination that the property satisfies the one or more conditions, the controller is configured to isolate the cooler from the chamber or control the temperature of the cooler to increase at one or more rates. The controller is further configured to control one or more pumps 330,340 to pump the chamber to a base pressure value.
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公开(公告)号：WO2017048052A1
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：PCT/KR2016/010337
申请日：2016-09-13
Applicant: 강경훈
Inventor： 강경훈
Abstract: 본 발명은 진공식 로스터에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 따른 진공식 로스터는, 챔버; 상기 챔버의 일측에 형성되며 개폐 가능한 도어캡; 상기 챔버의 타측에 형성된 진공캡; 상기 챔버의 내주면으로부터 이격되어 형성되며, 가공 대상물의 투입과 배출을 위해 개폐 가능한 바스켓 도어가 형성된 바스켓; 상기 챔버 내부의 진공 상태를 조절하는 진공 조절수단; 상기 바스켓과 축 연결되어 상기 바스켓을 회전시키는 구동모터; 및, 상기 챔버 내부에 상기 바스켓과 이격되어 형성된 히터를 포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种真空式烘焙机。 根据本发明实施例的真空式焙烧炉包括：腔室; 门帽，其形成在所述室的一侧上并且可以打开和关闭; 形成在所述室的另一侧的真空帽; 筐形成为与所述室的内周表面间隔开，并且具有能够打开和关闭以用于待处理物体的插入和排出的筐门; 用于调节室内部的真空状态的真空调节装置; 驱动电动机，其与所述筐轴连接以使所述筐旋转; 以及形成在腔室内以与篮子间隔开的加热器。
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公开(公告)号：WO2016114894A1
公开(公告)日：2016-07-21
申请号：PCT/US2015/066162
申请日：2015-12-16
Applicant: CATERPILLAR INC.
Inventor： NELSON, Bryan E. , BALDWIN, Daniel R. , STOCKNER, Alan R. , CAMPION, Robert M. , BROWN, Cory A. , STEFFEN, Joshua W. , COLDREN, Dana R. , MAHMOOD, Sana
CPC classification number: F04B27/1054 , F04B27/1063 , F04B37/08 , F16C19/06 , F16C19/30 , F16C19/547 , F16C23/086 , F16C2360/00
Abstract: A bearing arrangement 24 for a wobble plate piston pump 10 includes first, second, third, and fourth bearing assemblies 90, 92, 94, 96. The first and second bearing assemblies 90, 92 support the drive shaft portion 70 for rotation within the housing 16, 18 about the central longitudinal axis 74, while the third and fourth bearing assemblies 94, 96 support the load plate 28 for rotation relative to the offset shaft portion 72 of the shaft 26. The second bearing assembly 92 is distally disposed from the first 90, the third 94 disposed distally to second 92, and the fourth 96 disposed distally to third 94. The fourth bearing assembly 96 is the most distally disposed bearing assembly along the shaft 26.
Abstract translation: 用于摆盘活塞泵10的轴承装置24包括第一，第二，第三和第四轴承组件90,92,94,96。第一和第二轴承组件90,92支撑驱动轴部分70以在壳体内旋转 16,18围绕中心纵向轴线74，而第三和第四轴承组件94,96支撑负载板28，以相对于轴26的偏心轴部分72旋转。第二轴承组件92从第一轴 90，第三个94向远端设置到第二个92，第四个96设置在远端到第三个94.第四个轴承组件96是沿轴26最向远的轴承组件。
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10.发明申请
公开(公告)号：WO2014169987A1
公开(公告)日：2014-10-23
申请号：PCT/EP2014/000830
申请日：2014-03-27
Applicant: LINDE AKTIENGESELLSCHAFT
Inventor： NAGL, Christoph
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft eine Verdichtungsmaschine (110), in der ein oszillierender Körper (111) zwischen zwei Umkehrpunkten (U 1 , U 2 ) oszilliert, wobei durch die oszillierende Bewegung (111a) des oszillierenden Körpers (111) ein Fluid (112) zumindest zum Teil abwechselnd entspannt und verdichtet wird, wobei der oszillierende Körper (111) eine Kolbenkraft (F M ) auf das Fluid (112) ausübt, wobei das Fluid (112) eine Fluidkraft (F F ) auf den oszillierenden Körper (111) ausübt und wobei eine resultierende Verdichtungskraft (F*) als eine Differenz der Fluidkraft (F F ) und der Kolbenkraft (F M ) definiert ist. Der oszillierende Körper (111) besitzt eine erste Masse (m 1 ), wobei ein maximaler Wert der resultierenden Verdichtungskraft (F*) bei Verwendung des oszillierenden Körpers (111) mit der ersten Masse (m 1 ) um einen vorgegebenen Faktor F geringer ist als ein maximaler Wert der resultierenden Verdichtungskraft (F*) bei Verwendung eines oszillierenden Referenzkörpers (121) mit einer Referenzmasse (m ref ) in einer Referenzverdichtungsmaschine (120) gleichen Aufbaus und bei Verwendung desselben Fluids (112), wobei die erste Masse (m 1 ) um einen von dem vorgegebenen Faktor abhängigen Prozentsatz größer ist als die Referenzmasse (m ref ) und wobei der maximale Wert der resultierenden Verdichtungskraft (F*) bei Verwendung des oszillierenden Referenzkörpers (121) mittels Reduktion einer wirksamen Querschnittsfläche (A) des oszillierenden Referenzkörpers (121) um eben diesen vorgegebenen Faktor F reduziert würde.
Abstract translation: 本发明涉及一种压实机（110），其中振动体2（111）之间的换向点（U1，U2）振荡，其特征在于，由所述摆动运动（111A）振动体（111），流体（112）的至少部分 交替铺设和压实，由此，振动体（111）具有活塞力（FM）至所述流体（112）施加，其中所述流体（112）施加振动体（111）的流体的力（FF），并且其中，所得到的压实力 被定义（F *）作为流体的力（FF）和活塞力（FM）的差。 振动体（111），其具有第一质量（M1），其中，使用所述振动体（111），以第一质量（M1）所产生的压缩力（F *）的最大值是由一个预定的因子F比最大值小 通过使用振荡基准体（121）与在相同的设计的参考压实机（120）的参考块（MREF），并使用相同的流体（112），其中所述第一质量（M1）到的一个所产生的压缩力（F *）的值 预定因子依赖性百分比比基准质量（MREF），并通过还原的有效横截面面积的的装置所产生的压缩力（F *）使用所述振荡基准体（121）的最大值大的（a）通过仅此指定的振荡基准体（121）的 F因子会减少。
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