公开(公告)号：WO2023028345A1

公开(公告)日：2023-03-02

申请号：PCT/US2022/041749

申请日：2022-08-26

Applicant: APPLIED MATERIALS, INC.

Inventor： GADRE, Milind Jayram ,  KUMAR, Prashanth

IPC: G05B19/404 ,  H01L21/67

Abstract: A system includes a processing device, operatively coupled to the memory device, to perform operations comprising obtaining a plurality of sensor values associated with a deposition process performed, according to a recipe, in a process chamber to deposit film on a surface of a substrate; generating a manufacturing data graph based on the plurality of sensor values; receiving, via a user interface, a selection of a data point on the manufacturing graph; receiving failure data associated with the data point; and storing, in a data structure, the failure data to be accessible via the user interface presenting the manufacturing data graph.

公开(公告)号：WO2023280529A1

公开(公告)日：2023-01-12

申请号：PCT/EP2022/066136

申请日：2022-06-14

Applicant: P&L GMBH & CO. KG

Inventor： RÖDERS, Jürgen

IPC: G05B19/404 ,  B23Q15/18 ,  G05B19/416

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kompensation einer Abdrängung eines Werkzeugs (2) bei einer Bearbeitung eines Werkstücks (4) mit einer Werkzeugmaschine (1), wobei eine Steuereinheit (10) der Werkzeugmaschine (1) die Kompensation der Abdrängung in Abhängigkeit eines Maßes E von Eingriffsverhältnissen in einem Berührpunkt (6) zwischen Werkzeug (2) und Werkstück (4) an geraden Abschnitten (41) und an bogenförmigen Abschnitten (42, 43) unterschiedlich ausgleicht, a) basierend auf einem Verhältnis eines Werkzeugradius R1 und eines Krümmungsradius R2 des Werkstücks (4) gemäß der Formel E = R1/R2 und/oder b) basierend auf einem Verhältnis einer aktuellen Eingriffslänge L des Werkzeugs (2) in Umfangsrichtung am Werkstück (4) und einer Eingriffslänge LG des Werkzeugs (2) in Umfangsrichtung am Werkstück (4) bei Bearbeitung eines geraden Abschnitts (41) des Werkstücks (4) gemäß der Formel E = L/LG.

公开(公告)号：WO2022259641A1

公开(公告)日：2022-12-15

申请号：PCT/JP2022/008273

申请日：2022-02-28

Applicant: 三菱電機株式会社

Inventor： 松井　謙太郎

IPC: B25J13/08 ,  G05B19/404 ,  G05B19/4155

Abstract: バリ取り加工にかかる時間を短縮するための技術を開示する。バリ取り装置（１００）は、ワークの表面のバリを除去するためのバリ取りユニット（１０１）とバリ取りユニット（１０１）をワークに沿わせて移動させるためのロボット（１）とを備える。バリ取りユニット（１０１）は、ワークまでの距離を読み取るための第１の計測器（６）と、バリを除去する工具（５）と、第１の計測器（６）の計測結果に基づいて、工具（５）とワークとの距離を調節するアクチュエータ（３）と、バリ取りユニット（１０１）を制御する制御部とを含む。第１の計測器（６）は、バリ取りユニット（１０１）の進行方向に向けて、工具（５）より先行する位置に配置されており、アクチュエータ（３）は、単軸アクチュエータである。

公开(公告)号：WO2022195845A1

公开(公告)日：2022-09-22

申请号：PCT/JP2021/011349

申请日：2021-03-19

Applicant: 国立大学法人東海国立大学機構

Inventor： 社本　英二

IPC: G05B19/404 ,  B23Q15/00 ,  B23Q17/22

Abstract: 制御装置は、被削材に対して切削工具を相対的に移動させて、被削材と切削工具を接触させ（Ｓ１０）、被削材と切削工具とが接触したときの基準点の座標値を取得する（Ｓ１２）。制御装置は、取得した座標値と、被削材と切削工具とが接触した位置における基準点の設計座標値との誤差を導出し（Ｓ１４）、誤差に関する情報を出力する（Ｓ１６）。

公开(公告)号：WO2022191294A1

公开(公告)日：2022-09-15

申请号：PCT/JP2022/010684

申请日：2022-03-10

Applicant: 三菱ケミカル株式会社 ,  学校法人慶應義塾

Inventor： 高　チ ,  プラデル　ケン ,  山本　直樹 ,  鈴木　雄大

IPC: B25J13/08 ,  G05B19/18 ,  G05B19/404 ,  G05B19/4155 ,  G06N3/06 ,  G06N10/00

Abstract: 情報処理装置（１０）は、入力データを取得する第１の取得部（１２）と、前記入力データから、サブリザバーを複数階層有する量子リザバー（２０）へ入力されるリザバー入力データを生成する生成部と、前記リザバー入力データを入力した前記量子リザバーの出力結果を取得する第２の取得部（１２）と前記出力結果を参照して出力データを生成する出力データ生成部（１４）とを備えている。

公开(公告)号：WO2022168944A1

公开(公告)日：2022-08-11

申请号：PCT/JP2022/004437

申请日：2022-02-04

Applicant: ＮＴＮ株式会社

Inventor： 角野　佑樹

IPC: B24B49/16 ,  B23Q15/12 ,  B24B5/06 ,  B24B49/10 ,  G05B19/404

Abstract: 研削装置（１）は、研削材（５）を回転させるモータを有する研削材駆動部（６）と、研削材（５）とワーク（２０）とを相対移動させることにより研削材（５）をワーク（２０）に接触させるテーブル駆動部（８）と、研削材（５）とワーク（２０）との接触時に発生するアコースティックエミッションを検出するＡＥセンサ（１０）と、テーブル駆動部（８）を制御することによってワーク（２０）に対する研削材（５）の切込速度を制御する制御装置（５０）とを備える。制御装置（５０）は、ＡＥセンサ（１０）の出力および研削材駆動部（６）のモータ電流を用いて切込速度を制御する。

公开(公告)号：WO2022163633A1

公开(公告)日：2022-08-04

申请号：PCT/JP2022/002612

申请日：2022-01-25

Applicant: ファナック株式会社

Inventor： 貝原　賢治

IPC: G05B19/404 ,  B23Q15/22

Abstract: 加工円の有効径の設定を簡易に行うことができる数値制御装置を提供すること。数値制御装置は、工作機械により円加工を行うための加工プログラムにおいて、加工円の規格又は許容差クラス及び前記加工円の許容差の割合を指令する指令部と、前記加工円の規格又は許容差クラス及び前記加工円の許容差の割合に基づいて、加工円の有効径の補正量を設定する設定部と、を備える。

公开(公告)号：WO2022124150A1

公开(公告)日：2022-06-16

申请号：PCT/JP2021/044003

申请日：2021-12-01

Applicant: スター精密株式会社 STAR MICRONICS CO., LTD. [JP]/[JP]

Inventor： 篠宮　克宏 SHINOMIYA Katsuhiro ,  江藤　正人 ETO Masahito ,  賀来　則夫 KAKU Norio ,  志鎌　耕一郎 SHIGAMA Koichiro

IPC: G05B19/404 ,  G05B19/4155 ,  B23Q15/00

Abstract: 象限突起をさらに抑制可能な工作機械を提供する。 複数の駆動部Ｕ１は、第一送り軸Ｆ１に沿って駆動対象（２０）を移動させ る第一駆動部Ｕ１１、及び、第一送り軸Ｆ１と交差する第二送り軸Ｆ２に沿って駆動対象（２０）を移動させる第二駆動部Ｕ１２を含んでいる。制御部Ｕ２は、複数の駆動部Ｕ１による駆動対象（２０）の移動を制御し、さらに、駆動部Ｕ１の駆動方向の反転による象限突起２００を抑制するために設定加速量ΔＶｉを設定加速時間Ｔｉの間、駆動部Ｕ１に加える補正を行う。当該制御部Ｕ２は、駆動部Ｕ１から駆動対象（２０）に加えられるトルクを表す値を駆動トルク値ＴＲ２ｉとして、基準のトルクを表す基準トルク値ＴＲ１ｉを基準とした駆動トルク値ＴＲ２ｉに基づいて、設定加速量ΔＶｉと設定加速時間Ｔｉの少なくとも一方を調整する。

公开(公告)号：WO2022102738A1

公开(公告)日：2022-05-19

申请号：PCT/JP2021/041693

申请日：2021-11-12

Applicant: ファナック株式会社

Inventor： 尾関　真一

IPC: G05B19/404 ,  B23Q15/00

Abstract: 制御装置が、複数の工具にそれぞれ対応付けられた複数の工具オフセット値を記憶するオフセット値記憶部と、複数の工具オフセット値の調整に用いられる調整値を記憶する調整値記憶部と、調整値を用いて複数の工具オフセット値を調整した複数の調整オフセット値を算出する算出部と、を備える。

公开(公告)号：WO2022047935A1

公开(公告)日：2022-03-10

申请号：PCT/CN2020/123389

申请日：2020-10-23

Applicant: 瑞声声学科技（深圳）有限公司 ,  瑞声科技（南京）有限公司

Inventor： 陈敏 ,  郭顺 ,  王洪兴

IPC: G05B19/404

Abstract: 一种电机摩擦力补偿方法，其包括以下步骤：步骤S11，检测待补偿电机的旋转速度；步骤S12，判断旋转速度的绝对值是否小于预设速度阈值，若是，则获取待补偿电机的初始电流和预设摩擦力补偿值；步骤S13，根据预设摩擦力补偿值，并利用补偿电流模型计算获得补偿电流；其中，补偿模型反映摩擦力值与补偿电流之间的对应关系；步骤S14，根据初始电流和补偿电流，计算获得实际电流；其中，实际电流为初始电流和补偿电流之和；步骤S15，采用实际电流对待补偿电机进行摩擦力补偿。解决了电机在停止等待过程中所产生的大幅度抖动的现象的问题。