发明授权
CN100342518C 处理设备、处理方法、压力控制方法、传送方法以及传送设备
失效 - 权利终止
- 专利标题： 处理设备、处理方法、压力控制方法、传送方法以及传送设备
- 专利标题（英）： Processed object processing apparatus, processed object processing method, pressure control method, processed object transfer method, and transfer apparatus
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申请号： CN200410031053.6申请日： 2004-04-12
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公开(公告)号： CN100342518C公开(公告)日： 2007-10-10
- 发明人: 小泽润 , 高桥岳
- 申请人： 东京毅力科创株式会社
- 申请人地址： 日本国东京都赤板
- 专利权人： 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人： 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人地址： 日本国东京都赤板
- 代理机构： 北京纪凯知识产权代理有限公司
- 代理商 龙淳; 彭益群
- 优先权： 2003－179435 2003.06.24 JP; 2003－422821 2003.12.19 JP
- 主分类号： H01L21/68
- IPC分类号： H01L21/68 ; H01L21/205 ; H01L21/3065 ; C23C14/00 ; C23C16/00 ; H01J3/00 ; H01J19/00 ; H01J37/00
摘要：
本发明涉及用于处理待处理物体的处理设备、处理方法、压力控制方法、被处理物体传送方法以及传送设备。提供了一种可以有效地进行多个处理的被处理物体处理设备。多个处理系统可连通地在一线连接在一起并在其中处理被处理物体。负载锁定系统可连通地连接到处理系统并具有将被处理物体送进和送出每个处理系统的传送机构。至少一个处理系统是真空处理系统，负载锁定系统设置在适当的位置以与处理系统形成一线。
公开/授权文献
- CN1574270A 处理设备、处理方法、压力控制方法、传送方法以及传送设备 公开/授权日：2005-02-02
IPC分类:
