本发明提供一种随机数生成元件，利用了物理现象中的随机噪声，不使用放大电路，也能实现1Mbit/s以上的随机数生成速率。在沟道上设置导电性微粒，所述导电性微粒可与在半导体表面之间通过非常薄的隧道绝缘膜进行电子的充放电，使沟道宽度W变窄，并且增大导电性微粒的面密度Ddot，并且减小沟道与导电性微粒间的隧道电阻。例如，在将膜厚0.8nm的硅氮化膜设为隧道绝缘膜的体基板上的元件的情况下，若按1.7×1012cm-2的面密度形成沟道宽度W＝0.1μm、平均粒径d＝8nm的Si微晶粒群，就能够有0.1%的1MHz的噪声分量。