发明授权
CN100524873C 隧道磁阻器件
失效 - 权利终止
- 专利标题: 隧道磁阻器件
- 专利标题(英): Tunnel magnetoresistance device
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申请号: CN200510065121.5申请日: 2005-04-08
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公开(公告)号: CN100524873C公开(公告)日: 2009-08-05
- 发明人: 寺亮之介 , 丰田稻男 , 铃木康利
- 申请人: 株式会社电装
- 申请人地址: 日本爱知县
- 专利权人: 株式会社电装
- 当前专利权人: 株式会社电装
- 当前专利权人地址: 日本爱知县
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 过晓东
- 优先权: 114243/2004 2004.04.08 JP
- 主分类号: H01L43/08
- IPC分类号: H01L43/08 ; H01L43/12
摘要:
一种隧道磁阻(TMR)器件,其具有包含一个下端电极层、一个钉扎层、一个隧道势垒层、一个自由层和一个上端电极层的结构,其可在基底上连续地形成。该隧道势垒层基本上具有化学计量组成。该隧道势垒层可为由ALD法形成的氧化铝薄膜。
公开/授权文献
- CN1681142A 隧道磁阻器件 公开/授权日:2005-10-12