一种废气处理塔，当进行半导体废气的高温热分解反应时，该废气处理塔可确保废气分解处理室中使用的电加热器的供电部的绝缘性良好，且可尽可能地降低电加热器通电时的负荷，并将热损耗降至最低。解决的方案是由如下所述部件构成废气处理塔：(a)内部形成有废气分解处理室(1a)的废气处理塔主体(3)；(b)安装在废气处理塔主体(3)的底部上的主体底部(4)；(c)插入主体底部(4)且设置在废气处理塔主体(3)内的供气管(6)，废气(F)通过该供气管的前端被放入废气分解处理室(1a)内；(d)主体底部(4)内设有其供电部(8b)且设立在主体底部(4)上的电加热器(7)。