-
公开(公告)号：CN104645779A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201510026640.4
申请日：2007-08-03
申请人： 康肯科技股份有限公司
CPC分类号： B01D53/14 , B01D53/32 , B01D2257/20 , B01D2258/0216 , B01D2259/818
摘要： 提供一种气体处理装置，该气体处理装置容易管理，维修的频率低，而且可对从半导体制造过程等工业过程排出的各种处理对象气体进行处理，通用性高。气体处理装置(10)具有反应器(12)，该反应器(12)围绕大气压等离子体(P)和朝大气压等离子体(P)供给的处理对象气体(F)，在其内部进行处理对象气体(F)的热分解；其中特征在于：在反应器(12)设置用于由水(W)覆盖其内面的水供给装置(16)。按照该构成，大致在反应器(12)的内面整体形成所谓的“润湿壁”。为此，可防止处理对象气体(F)中的固体成分接触在反应器(12)的内面而产生附着、堆积，同时，可使该内面的劣化延迟。
-
公开(公告)号：CN1341478A
公开(公告)日：2002-03-27
申请号：CN00126859.7
申请日：2000-09-07
申请人： 康肯科技股份有限公司
发明人： 今村启志
IPC分类号： B01D53/70
CPC分类号： Y02C20/30
摘要： 提供了一种能够在尽可能低的温度下(消耗的热能少),以高除害率分解除去PFC成分的方法。一种全氟化碳或全氟化物的除害方法,其特征在于在制造设备排出的含有全氟化碳或全氟化物的被处理气体中,混合烃气体或氨气中一种或两种以上气体后,在非氧化性气氛下使上述混合气体热分解。
-
公开(公告)号：CN101384336A
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200780006055.1
申请日：2007-02-06
申请人： 康肯科技股份有限公司 , 东亚合成株式会社
CPC分类号： B01D53/68 , B01D2257/204 , C23C16/4412 , F23G7/063 , F23L7/002
摘要： 本发明提供HCD气体的除害方法及其装置。通过使含有六氯化二硅的废气(L)在不含有水分的情况下导入反应处理区域(K)，向保持在六氯化二硅的分解温度的反应处理区域(K)供给含有若干水分的有氧气体(G)，将六氯化二硅分解成盐酸、二氧化硅和水，在既不产生硅草酸也不产生氯的情况下安全地进行含有六氯化二硅的废气处理。
-
公开(公告)号：CN101224406A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200710100810.4
申请日：2007-04-18
申请人： 康肯科技股份有限公司
摘要： 本发明提供一种气体处理装置，其采用将氮用作工作气体的大气压等离子体，能够热分解处理对象气体而不副产氮氧化物。对于围绕大气压等离子体P及向大气压等离子体P供给的处理对象气体F、其内部具有进行处理对象气体F的热分解的反应器22、使用氮气作为工作气体G的等离子体分解机12，设置在含有从等离子体分解机12排出的热分解后的处理对象气体F与工作气体G的排气R中不混入氧和水分的状态下，将排气R冷却到至少不生成氮氧化物的温度的冷却部14，从而制成解决了上述课题的气体处理装置10。
-
公开(公告)号：CN1243599C
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN01133863.6
申请日：2001-12-21
申请人： 康肯科技股份有限公司
发明人： 今村启志
摘要： 一种废气处理塔，当进行半导体废气的高温热分解反应时，该废气处理塔可确保废气分解处理室中使用的电加热器的供电部的绝缘性良好，且可尽可能地降低电加热器通电时的负荷，并将热损耗降至最低。解决的方案是由如下所述部件构成废气处理塔：(a)内部形成有废气分解处理室(1a)的废气处理塔主体(3)；(b)安装在废气处理塔主体(3)的底部上的主体底部(4)；(c)插入主体底部4且设置在废气处理塔主体(3)内的供气管(6)，废气(F)通过该供气管的前端被放入废气分解处理室(1a)内；(d)主体底部4内设有其供电部(8b)且竖立设置在主体底部(4)上的电加热器(7)。
-
公开(公告)号：CN103476483B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201280011952.2
申请日：2012-02-02
申请人： 康肯科技股份有限公司
CPC分类号： B01J19/0046 , B01D53/58 , F23G7/063 , F23G7/068 , F23J2215/10 , F23J2219/40 , F23J2219/80 , F23L15/02 , Y02A50/2346 , Y02E20/348
摘要： 提供一种通过热分解对氨进行除害时能够避免产生氮氧化物的氨除害装置。即，由电加热器（14）、氨分解室（24）、热分解气体燃烧室（26），和空气供给单元（16）构成氨除害装置（10）。氨分解室（24）接受含氨的处理对象气体（F），并且由来自电加热器（14）的热在无氧状态下对氨进行热分解。热分解气体燃烧室（26）接受从氨分解室（24）排出的、包含由氨的热分解产生的氮及氢的处理对象气体（F）。空气供给单元（16）从外部向热分解气体燃烧室（26）供给用于使氢燃烧的空气（A）。由此，能够解决上述课题。
-
公开(公告)号：CN100562355C
公开(公告)日：2009-11-25
申请号：CN200510082344.2
申请日：2001-12-21
申请人： 康肯科技股份有限公司
发明人： 今村启志
摘要： 一种废气处理塔，当进行半导体废气的高温热分解反应时，该废气处理塔可确保废气分解处理室中使用的电加热器的供电部的绝缘性良好，且可尽可能地降低电加热器通电时的负荷，并将热损耗降至最低。解决的方案是由如下所述部件构成废气处理塔：(a)内部形成有废气分解处理室(1a)的废气处理塔主体(3)；(b)安装在废气处理塔主体(3)的底部上的主体底部(4)；(c)插入主体底部(4)且设置在废气处理塔主体(3)内的供气管(6)，废气(F)通过该供气管的前端被放入废气分解处理室(1a)内；(d)主体底部(4)内设有其供电部(8b)且设立在主体底部(4)上的电加热器(7)。
-
公开(公告)号：CN105143769A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480000791.6
申请日：2014-02-12
申请人： 康肯科技股份有限公司
CPC分类号： B01D53/68 , B01D53/005 , B01D2252/103 , B01D2257/2025 , B01D2257/2066 , B01D2258/0216 , F01N2240/14 , F23D14/24 , F23D2207/00 , F23G7/065
摘要： 本发明为废气处理用喷燃器及使用了该喷燃器的废气处理装置，具备前端(12a)开放的外管(12)、前端(12a)开放并且其前端部被从外管(12)的后端(12b)插入到了外管(12)的内部的内管(14)和从内管(14)的后端(14b)插入到了内管(14)的内部的杆状的电热加热器(16)。从上述外管(12)的后端(12b)突出的上述内管(14)的侧面与助燃性气体供给管嘴(18)和燃料供给管嘴(20)连接。上述外管(12)的后端(12b)那一侧的侧面与废气供给管嘴(22)连接。上述内管(14)的前端(14a)被配置在从上述外管(12)的前端(12a)离开的上述外管(12)内的深处。而且，上述电热加热器(16)的前端(16a)延伸设置到上述外管(12)的前端(12a)附近，配置在上述外管(12)的前端(12a)与上述内管(14)的前端(14a)之间。
-
公开(公告)号：CN103476483A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201280011952.2
申请日：2012-02-02
申请人： 康肯科技股份有限公司
CPC分类号： B01J19/0046 , B01D53/58 , F23G7/063 , F23G7/068 , F23J2215/10 , F23J2219/40 , F23J2219/80 , F23L15/02 , Y02A50/2346 , Y02E20/348
摘要： 提供一种通过热分解对氨进行除害时能够避免产生氮氧化物的氨除害装置。即，由电加热器（14）、氨分解室（24）、热分解气体燃烧室（26），和空气供给单元（16）构成氨除害装置（10）。氨分解室（24）接受含氨的处理对象气体（F），并且由来自电加热器（14）的热在无氧状态下对氨进行热分解。热分解气体燃烧室（26）接受从氨分解室（24）排出的、包含由氨的热分解产生的氮及氢的处理对象气体（F）。空气供给单元（16）从外部向热分解气体燃烧室（26）供给用于使氢燃烧的空气（A）。由此，能够解决上述课题。
-
公开(公告)号：CN101541400A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200780043055.9
申请日：2007-08-03
申请人： 康肯科技股份有限公司
CPC分类号： B01D53/14 , B01D53/32 , B01D2257/20 , B01D2258/0216 , B01D2259/818
摘要： 提供一种气体处理装置，该气体处理装置容易管理，维修的频率低，而且可对从半导体制造过程等工业过程排出的各种处理对象气体进行处理，通用性高。气体处理装置(10)具有反应器(12)，该反应器(12)围绕大气压等离子体(P)和朝大气压等离子体(P)供给的处理对象气体(F)，在其内部进行处理对象气体(F)的热分解；其中特征在于：在反应器(12)设置用于由水(W)覆盖其内面的水供给装置(16)。按照该构成，大致在反应器(12)的内面整体形成所谓的“润湿壁”。为此，可防止处理对象气体(F)中的固体成分接触在反应器(12)的内面而产生附着、堆积，同时，可使该内面的劣化延迟。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
18 条记录 (耗时 0.028 秒)
