发明授权
CN100572591C 用于增大由羰基金属前驱体沉积金属层的速率的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 用于增大由羰基金属前驱体沉积金属层的速率的方法
- 专利标题（英）： Method for increasing deposition rates of metal layers from metal-carbonyl precursors
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申请号： CN200580040103.X申请日： 2005-10-03
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公开(公告)号： CN100572591C公开(公告)日： 2009-12-23
- 发明人: 铃木健二 , 以马利·盖德帝 , 格利特·J·莱乌辛克 , 芬顿·R·麦克非 , 桑德拉·G·马尔霍特拉
- 申请人： 东京毅力科创株式会社 , 国际商业机器公司
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 东京毅力科创株式会社,国际商业机器公司
- 当前专利权人： 东京毅力科创株式会社,国际商业机器公司
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
- 代理商 李剑
- 优先权： 10/996,145 2004.11.23 US
- 国际申请： PCT/US2005/035582 2005.10.03
- 国际公布： WO2006/057709 EN 2006.06.01
- 进入国家日期： 2007-05-23
- 主分类号： C23C16/16
- IPC分类号： C23C16/16 ; H01L21/768
摘要：
本发明描述了一种用于通过将羰基金属前驱体(52、152)的蒸汽与CO气体混合来增大以羰基金属前驱体(52、152)形成的金属层的沉积速率的方法(300)。该方法(300)包括在沉积系统(1、100)的处理室(10、110)中提供衬底(25、125)，形成包含羰基金属前驱体蒸汽和CO气体的处理气体，以及将衬底(25、125、400、402)暴露于处理气体以通过热化学气相沉积工艺在衬底(25、125、400、402)上沉积金属层(440、460)。
公开/授权文献
- CN101124352A 用于增大由羰基金属前驱体沉积金属层的速率的方法 公开/授权日：2008-02-13
IPC分类:
