发明授权

光敏树脂膜及其固化膜
摘要:
本发明的呈未固化状态的光敏树脂膜包含(A)一种特殊的碱溶性共聚物,(B)具有至少一个烯键式不饱和双键的化合物,以及(C)一种辐射敏感的自由基聚合引发剂,通过使用该引发剂,呈未固化状态的、干膜厚度为70μm的涂膜在365nm具有不低于10%的辐射透射率,在405nm具有不低于60%的辐射透射率。以100重量份组分(A)计,该光敏树脂膜中的辐射敏感的自由基聚合引发剂(C)的含量为20-40重量份,并且该光敏树脂膜的干膜厚度不低于50μm。根据该光敏树脂膜可容易地在芯片基底上高精度地形成不低于50μm的高凸起,而常规技术难于形成这样的高凸起。此外,还能抑制元件的连接失效并能提高元件的可靠性。
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