发明授权
CN100589032C 光敏树脂膜及其固化膜
失效 - 权利终止
- 专利标题: 光敏树脂膜及其固化膜
- 专利标题(英): Photosensitive resin film and cured film made therefrom
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申请号: CN200480008907.7申请日: 2004-03-25
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公开(公告)号: CN100589032C公开(公告)日: 2010-02-10
- 发明人: 岩永伸一郎 , 木村徹 , 西川耕二
- 申请人: 捷时雅株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 捷时雅株式会社
- 当前专利权人: 捷时雅株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 周承泽
- 优先权: 098392/2003 2003.04.01 JP
- 国际申请: PCT/JP2004/004155 2004.03.25
- 国际公布: WO2004/090637 JA 2004.10.21
- 进入国家日期: 2005-09-29
- 主分类号: G03F7/033
- IPC分类号: G03F7/033 ; C09D133/04
摘要:
本发明的呈未固化状态的光敏树脂膜包含(A)一种特殊的碱溶性共聚物,(B)具有至少一个烯键式不饱和双键的化合物,以及(C)一种辐射敏感的自由基聚合引发剂,通过使用该引发剂,呈未固化状态的、干膜厚度为70μm的涂膜在365nm具有不低于10%的辐射透射率,在405nm具有不低于60%的辐射透射率。以100重量份组分(A)计,该光敏树脂膜中的辐射敏感的自由基聚合引发剂(C)的含量为20-40重量份,并且该光敏树脂膜的干膜厚度不低于50μm。根据该光敏树脂膜可容易地在芯片基底上高精度地形成不低于50μm的高凸起,而常规技术难于形成这样的高凸起。此外,还能抑制元件的连接失效并能提高元件的可靠性。
公开/授权文献
- CN1768304A 光敏树脂膜及其固化膜 公开/授权日:2006-05-03
IPC分类: